W pracy dokonano przeglądu konstrukcji akceleratorów plazmy stosowanych w technologii osadzania cienkich powłok metodami PAPVD. Szczegółowo omówiono konstrukcje akceleratorów magnetoplazmo-dynamicznych, i dokonano ich klasyfikacji ze względu na kierunek ruchu generowanej przez nie plazmy. Omówiono perspektywy rozwoju tego typu akceleratorów plazmy.
EN
The paper presents the review of different constructions of plasma accelerators applied in technologies of thin coatings deposition by PAPVD methods. The constructions of magnetoplasmodynamic accelerators are discussed in detail and their classification, with respect to the direction of generated plasma movement, is presented. The perspectives of development of such accelerators are discussed.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.