Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Przegląd Elektrotechniczny

1 2023

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: MEMS-based gas sensors

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Thermal analysis of micro-heaters using the 3D-TLM method and COMSOL multiphysics software for MEMS based gas sensor

Djameleddine Kheris, Hocine Rachida

Przegląd Elektrotechniczny

2023

R. 99, nr 3

241--245

The gas sensors with Metal-Oxide (MOx) offer new opportunities for MEMS sensors due to their low congestion, high sensibility and fast answer. Microhotplate is the key component in these sensors to control the temperature of the sensing layer. In this work a meander platinum based heater has been fabricated and design. The transmission line matrix 3D-TLM method and COMSOL software are used to predict the homogeneous temperature distribution. Thus, temperatures control of hot areas of micro-heater are very important before any gas sensors and MEMS design.

Czujniki gazu z tlenkiem metalu (MOx) oferują nowe możliwości dla czujników MEMS ze względu na ich niewielkie zatłoczenie, wysoką czułość i szybką odpowiedź. Płyta grzejna jest kluczowym elementem tych czujników do kontrolowania temperatury warstwy czujnikowej. W tej pracy wykonano i zaprojektowano meandrowy grzejnik na bazie platyny. Metoda 3D-TLM z macierzą linii transmisyjnych i oprogramowanie COMSOL są wykorzystywane do przewidywania jednorodnego rozkładu temperatury. Dlatego kontrola temperatury gorących obszarów mikropodgrzewacza jest bardzo ważna przed jakimikolwiek czujnikami gazu i projektowaniem MEMS.