Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2004

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: LBIC

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Zastosowanie metody LBIC do badania detektorów AlGaN MSM

Paszkiewicz B., Szyszka A.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2004

Vol. 45, nr 10

31-32

Technika LBIC (Light Beam Induced Current) została zastosowana do charakteryzacji testowych struktur detektorów MSM wykonanych na warstwie AlGaN. Zauważono niejednorodności generowanego fotoprądu nie wynikające z morfologii powierzchni. Przeprowadzone pomiary pozwoliły na oszacowanie odległości rzędu ułamków mikrometrów, którą przebywają nośniki w polu elektrycznym w warstwie zubożonej AlGaN. Zastosowanie metody LBIC umożliwiło ocenę jakości warstw zastosowanych do wytwarzania detektorów AlGaN MSM.

Light Beam Induced Current (LBIC) technique was used for investigation of AlGaN MSM test structures. The obtained results were correlated with device morphology obtained by scanning electron microscopy. This allowed us to investigate influence of MSM structure fabrication process on electronic transport in the thin epitaxial layer.