This paper deals with the numerical modelling of 3D structure of surface micromachined (MEMS) accelerometers. Keeping knowledge about predefined accelerometer structure we start computer simulation procedure leading to final structure design, then to be defined as a basic structure for stress analysis.
PL
Artykuł dotyczy numerycznego modelowania trójwymiarowych struktur akcelerometrów MEMS. Przedstawiono założenia do budowy modelu mechanicznego dla różnych struktur akcelerometrów ze szczególnym uwzględnieniem ich sprężystości.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.