Structural studies on In2S3 thin films deposited by vacuum thermal evaporation on glass substrates at a temperature of 240oC, followed by annealing at 330°C and 400°C are presented. It was shown that the films were of amorphous in nature before annealing and after annealing the films became polycrystalline and showed β- In2S3 structure. The grain size increased and followed the usual crystal growth process as the annealing temperature increased. The annealing-induced changes of surface roughness were characterized by atomic force microscopy.
PL
Przedstawiono wyniki badania struktury cienkich warstw In2S3 naniesionych metodą termicznego osadzenia na szkło w próżni w temperaturach od 240oC i kolejnym wygrzewaniem w temperaturach 330oC i 400oC. Ustalono że warstwy miały amorficzną naturę przed wygrzewaniem, po wygrzewaniu wykazywały strukturę polikrystaliczną typu β-In2S3. Rozmiar ziaren powiększał się na skutek aktywnej nuklearyzacji i to przyczyniało się do zwykłej krystalizacji ze wzrostem temperatury. Zmiany zostały przeanalizowane za pomocą AFM.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.