Omówiono rolę techniki MOVPE we współczesnym rynku komponentów optoelektronicznych. Pokazano silną pozycję tej technologii w przemysłowej produkcji diod LED o wysokiej jaskrawości - HB-LED. Przedstawiono nowy zakres materiałów osadzanych w technice MOVPE, w tym warstw tlenkowych. Pokazano współczesne możliwości systemów MOVPE kontroli i monitorowania in-situ procesu wzrostu. Podkreślono przyszłe wyzwania w zakresie badań podstawowych i produkcji przemysłowej komponentów optoelektronicznych.
EN
This paper presents the MOVPE technique and its role in the contemporary optoelectronic market. Different types of device structures made by MOVPE are presented and discussed. There were shown the MOVPE systems for deposition oxides layers and different methods for in-situ monitoring of the growth process. The future industrial and research challenges were pointed out.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.