Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Karbo

1 2015

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: HF-CVD

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

The effect of nitrogen on the deposition and structure of polycrystalline diamond films

Benzhour K., Rozpłoch F.

Karbo

2015

Nr 2

65--68

In this study, thin polycrystalline diamond films were deposited on (100) Si substrate by HF-CVD using a mixture of hydrogen, propane-butane and nitrogen. During investigations the pressure, temperature of substrate and the gas flow of hydrogen and propane-butane were kept constant, only the gas flow of nitrogen was varied from 10 cm3/min to 40 cm3/min. Scanning electron microscopy analysis revealed that the addition of nitrogen to the gas phase influenced the growth rate and film structure. The occurrence of texture from a nitrogen containing gas phase depends critically on the deposition temperature and the gas phase activation. An increase of nitrogen concentration provokes an increase in non-diamond phase. The quality of these films was investigated with the use of the Raman spectroscopy.

W niniejszej pracy, polikrystaliczne warstwy diamentowe były odkładane metodą gorącego włókna z fazy gazowej (HF-CVD) na monokrystalicznym podłożu krzemowym o orientacji powierzchni (100). Gazem roboczym była mieszanina wodoru, propanu-butanu i azotu. Całkowite ciśnienie, temperatura podłoża i przepływy gazów (wodór i propan-butan) były utrzymywane na stałym poziomie podczas wszystkich procesów odkładania. Jedynie przepływ gazu azotu był zmieniony od 10 cm3/min do 40 cm3/min. Badania morfologii uzyskiwanych warstw diamentowych za pomocą elektronowej mikroskopii skaningowej (SEM) wykazały, że uzyskiwane warstwy są polikrystaliczne o orientacji zmieniającej się od (111) do (100) wraz ze wzrostem koncentracji azotu. Jakość warstw diamentowych badana była spektroskopią ramanowską. We wszystkich widmach Ramana widoczne były dwie typowe linie, pierwsza pochodząca od obszarów o fazie sp3 i druga pochodząca od obszarów o fazie sp2 atomów węgla.