Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Archives of Metallurgy and Materials

1 2005

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: Cu damascene interconnects

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

The Effect of Stress Distribution on Texture Evolution of Cu Damascene During Annealing

Cho J-Y., Lee H-J., Kim H., Szpunar J. A.

Archives of Metallurgy and Materials

2005

Vol. 50, iss. 1

261-266

Textural changes of Cu interconnect having dierent line width was investigated after annealing. Texture was measured using XRD (x-ray diraction) and the surface texture was investigated using EBSD (electron backscattered diraction) techniques. To analyze a relationship between the stress distribution and textural evolution observed in the samples, the stresses were calculated for the dierent line width at 200C using FEM (finite element modeling) along the width and depth of the line. In this investigation, it was found that the inhomogeneity of stress distribution in Cu interconnects is an important factor necessary for understanding textural transformation during annealing. Textural evolution in damascene interconnects lines after annealing is discussed, based on the state of stress in Cu electrodeposits.

Zmiana tekstury w elektronicznych połączeniach miedzianych o różnej szerokości była badana po wyżarzaniu. Textura była mierzona przy użyciu dyfrakcji rentgenowskiej, a tekstura na powierzchni metodą EBSD. Związek pomiędzy rozkładem naprężeń a obserwowaną ewolucją tekstury w próbkach był analizowany metodą elementów skończonych na drodze obliczeń naprężeń w połączeniach o różnej szerokości, w temperaturze 200C. Obliczenia wykazały, że niejednorodność rozkładu naprężeń w miedzianych połączeniach elektronicznych jest niezbędnym czynnikiem do zrozumienia transformacji tekstury podczas wyżarzania. Ewolucja tekstury w damascenskich połączeniach miedzianych obwodów elektrycznych po wyżarzaniu jest rozważana w odniesieniu do stanu naprężeń w elektrolitycznie osadzonej miedzi.