Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Przegląd Elektrotechniczny

1 2021

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: Confocal scanning acoustic-microscope

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

A review on echo and phase inverted scanning in acoustic microscopy for failure analysis

Ahmad Badrul Hisham, Al-Shaikhli Taha Raad, Hassan Nornikman, Ibrahim Ayman Mohammed, Lim P. E., Nordin Nurul Syahira

Przegląd Elektrotechniczny

2021

R. 97, nr 3

9--14

This paper is a review on the part of the failure analysis in the semiconductor region, especially in the integrated circuit (IC) design. Initially, the literature review depends on the keyword of acoustic-microscopy. Then, it followed by the example on the scanning acoustic-microscope (SAM), confocal scanning acoustic-microscope (CSAM), and C-mode scanning acoustic-microscope (C-SAM) technique. These three SAM techniques are used in various situation and have a different effect on the sample. Previous works on SAM, C-SAM and CSAM related technologies are reviewed by many researchers in this paper.

W artykule przedstawiono przegląd analizy defektów układów półprzewodnikowych (obwodów scalonych) z wykorzystaniem mikroskopów akustycznych. Zaprezentowano mikroskop akustyczny SAM, mikroskop skaningowy CSAM i mikroskop typu C C-SAM. Każda z tych metod pozwala na różnego typu badania.