In this paper the results of the investigations of Al-Cu-Fe thin films obtained by PLD technique are presented. The films were deposited using different parameters of process (e.g. substrate temperature, laser fluence). The morphology and chemical composition of obtained surface layers was examined. In the frames of the investigations the thickness measurements, the nanohardness and adhesion tests of the Al-Cu-Fe layers was performed.
PL
W publikacji przedstawiono wyniki badań cienkich warstw Al-Cu-Fe wytwarzanych techniką PLD. Cienkie warstwy były osadzane z zastosowaniem rożnych parametrów procesu (np. temperatura podłoża, gęstość energii wiązki lasera). Badano morfologię oraz skład chemiczny otrzymanych cienkich warstw. W ramach badań wykonano pomiary grubości, nanotwardości oraz testy adhezji do podłoża cienkich warstw Al-Cu-Fe.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.