Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: śluza próżniowa

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

System wymiany i pozycjonowania podłoży w urządzeniach PVD/CVD

Samborski T., Kozioł S., Matecki K.

Problemy Eksploatacji

2008

nr 2

129-137

W artykule przedstawiono rozwiązanie techniczne systemu wymiany i pozycjonowania podłoży w urządzeniach do badania i opracowywania technologii PVD. Składa się on z zespołu manipulatorów oraz ze śluzy do wprowadzania próbek do komory próżniowej, co pozwala na selektywną identyfikację efektów wybranych etapów procesów.

The article presents technical solutions of positioning substrates in devices for examining and developing PVD technologies. It is composed of a load lock for placing samples in a vacuum chamber and a system of substrate transporters which allow for the identification of the effects of selected process stages.

Śluza próżniowa do wprowadzania próbek do wnętrza układów UHV (XHV)

Kaufman E., Ignaciuk R., Konarski P.

Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej. Elektronika

1999

z. 123

173-176

A construction of an ultra-high vacuum lock and transfer system designed for MBE vacuum chambers, is presented. The two stage vacuum lock consists of shutter valve, introduction chamber, and transfer system based on rotary feed-throughts and transferring rod enabling 1.5 m range transfer. The whole system is bakeable up to 470 K, and the samples can be heated up to 1000 K inside the introduction chamber.