Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2013

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

O kalibracji elektronowego mikroskopu skaningowego do pomiaru wymiarów w zakresie nanometrowym

Volodarski E., Koshewa L., Warsza Z. L., Shantyr A.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2013

Vol. 54, nr 2

64-67

Przeprowadzono analizę metod i sposobu kalibracji skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM) w celu określenia optymalnych wartości jego podstawowych parametrów z punktu widzenia minimalizacji ich wpływu na niepewność wyników pomiaru wymiarów w zakresie nanometrowym. Podano wzory na niepewność pomiarów średnicy wiązki elektronów i współczynnika skali ekranu (powiększenia) tego mikroskopu. Wykazano, że przy wyborze parametrów pracy, dla osiągnięcia wymaganej dokładności kalibracji należy uwzględniać pozytywny wpływ poziomu napięcia przyspieszającego elektrony na rozdzielczość i wpływ negatywny na powtarzalność wskazań oraz przyjąć miedzy nimi pewien kompromis. Rozważania zilustrowano przykładem liczbowym.

The paper analyzes the methods and means of the calibration scanning electron microscope (SEM) to determine the optimal values of the SEM basic characteristics in terms of their impact on the uncertainty of the results. Given are patterns of the measurement uncertainty of the electron beam diameter and of display scale factor (zoom) of the microscope. It is shown that for achievement of the required exactness of calibration at the choice of the mode of work of microscope it is necessary to take into account influence of voltage level of acceleration on the resolving power the SEM from one side, and the accuracy of results, on the other hand, that is a compromise task. Numerical example is also included.