Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Badania porównawcze chropowatości powierzchni gładkich za pomocą skaterometrii, interferometrii i mikroskopii sił atomowych

Synak R., Pawełczak M., Lipiński W., Gocman K.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2013

|

Vol. 54, nr 1

46-53

PL

Opisano aparaturę służącą do badania chropowatości powierzchni działającą na następujących zasadach: rozpraszania światła (skaterometrii metodą TIS), interferometrii światła białego oraz mikroskopii sił atomowych. Głównym celem prac było porównanie wyników pomiarów parametru chropowatości Sq powierzchni gładkich uzyskanych za pomocą nowego układu TIS, tj. integratora fotodiodowego z wynikami otrzymanymi przy użyciu wymienionych przyrządów. Badania przeprowadzono przy wykorzystaniu próbek wykonanych z płytek krzemowych, zwierciadeł optycznych, płytek wzorcowych i innych płytek metalowych. Próbki charakteryzowały się wartościami chropowatości Sq z zakresu od ok. 0,5 do ok. 25 nm. Badania wykazały dużą zgodność wyników pomiaru chropowatości uzyskanych za pomocą integratora i wymienionej aparatury.

EN

Instruments destined for testing smooth surface parameters, based on the following principles: scatterometry (TIS), white light interferometry and atomic force microscopy have been described in the paper. The main purpose of the investigations was comparing measurement results obtained using a novel TIS device, e.g., the photodiode intergrator with results gained from other apparatus. Comparisons have been done by measuring roughness of the following samples: silicon wafers, optical mirrors, size blocks and metal plates. They are characterized by the r.m.s. roughness Sq of 0.5...25 nm. The investigations prove a good agreement of measurement results obtained using the photodiode integrator and other instruments.

2

Badania porównawcze parametrów powierzchni gładkich metodami rozpraszania światła

Jaglarz J., Kapłonek W., Lipiński W., Pawełczak M., Synak R.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2012

|

Vol. 53, nr 12

92-99

PL

Opisano metody i aparaturę służącą do badania parametrów powierzchni opartą na następujących zasadach: pomiaru całkowitej mocy promieniowania rozproszonego przez powierzchnię (TIS), pomiaru kątowego rozkładu natężenia promieniowania rozproszonego (ARS) oraz pomiaru indykatrys promieniowania rozproszonego zmodyfikowaną metodą ARS. Głównym celem prac było porównanie wyników pomiarów chropowatości powierzchni uzyskiwanych za pomocą nowego układu TIS, tj. integratora fotodiodowego i sfery integracyjnej, a także doświadczalne sprawdzenie poprawności założeń przyjmowanych przy projektowaniu integratora. Dokonano tego na podstawie pomiarów za pomocą aparatury ARS rozkładów natężenia promieniowania, pomiarów długości autokorelacji nierówności powierzchni i innych. Badania przeprowadzono przy wykorzystaniu próbek wykonanych z materiałów charakteryzujących się wysokościami nierówności od ok. 0,5 do ok. 25 nm. Badania wykazały dużą zgodność wyników pomiaru chropowatości uzyskanych za pomocą integratora i innej aparatury oraz potwierdziły zasadność przyjętych założeń projektowych.

EN

Methods and instruments destined for testing smooth surface parameters have been described in the paper. They are based on the following principles: total integrated scatter (TIS), angle-resolved scatter (ARS) and modified ARS method. The main purpose of investigations was comparing of roughness measurement results obtained using a novel TIS device, e.g., the photodiode integrator and the integrating sphere, as well as experimental proving validity of assumptions accepted when designing the integrator. They have been accomplished using ARS apparatus for measuring scatter distribution, r.m.s. roughness and autocorrelation length. Investigations have been performed using samples characterized by r.m.s. roughness from 0.5 nm to about 25 nm. They show a good compatibility of results obtained using the integrator and other instruments and confirm correctness of initial assumptions.

3

Metody i aparatura do badania parametrów powierzchni przy wykorzystaniu zjawiska rozpraszania światła

Synak R., Ryżko J.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2011

|

Vol. 52, nr 11

97-100

PL

Scharakteryzowano zwięźle metody pomiarowe stosowane przy określaniu parametrów powierzchni nierównych, głównie wysokości przy wykorzystaniu zjawiska rozpraszania światła. Podano główne zastosowania tych pomiarów. Pokazano zdjęcia i niektóre parametry urządzeń skaterometrycznych wytwarzanych przez przodujących w tej dziedzinie producentów amerykańskich. Przytoczono też informacje o pracach prowadzonych nad taką aparaturą w Polsce.

EN

Measurement methods used for determining rough surfaces parameters, based on light scattering are shortly described. The main applications of this measurements are given. Some photographs and parameters of the scatterometer devices produceded by recognized American companies are shown. Information about works in this area in Poland is also given.

4

Zintegrowana głowica pomiarowa do badania chropowatości powierzchni bardzo gładkich

Synak R., Pawełczak M.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2008

|

Vol. 49, nr 11

266-270

PL

Opisano laserową głowicę służącą do pomiaru chropowatości i reflektancji powierzchni. Działanie przyrządu jest oparte na zasadzie pomiaru parametru TIS, przy czym pomiaru tego dokonuje się za pomocą nowego, specjalnego układu, który umożliwia uzyskanie urządzenia o zwartej budowie i małych rozmiarach. Przytoczono wyniki niektórych badań przyrządu oraz przedstawiono jego główne cechy i parametry.

EN

A handy laser instrument performing non-contact measurements of surface roughness and surface diffuse and specular reflectances is presented. The instrument operates on the principle of measuring the TIS parameter. The distinguishing feature of this scatterometer is the compact measurement head construction, resulting in its small size. Results of some investigations as wellas main features and specifications of the scatterometer are presented.

5

Optoelektroniczne urządzenia do pomiaru zasięgu widzialności

Synak R.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

|

2008

|

Vol. 49, nr 5

100-106

PL

Przedstawiono teoretyczne podstawy pomiaru zasięgu widzialności i metody pomiaru tego parametru, a także scharakteryzowano urządzenia i systemy pomiarowe wytwarzane obecnie głównie na potrzeby komunikacji lotniczej i drogowej. Opisano również transmisometr laserowy opracowany w Instytucie Maszyn Matematycznych.

EN

Theoretical fundamentals of visibility range measurements and methods for measuring this parameter are presented in the paper. Characteristic of instruments and systems produced now for needs of aerial and land communication is also given. A laser transmissometer elaborated in the Institute of Mathematical Machines is also described.