Wyniki wyszukiwania - BazTech

1

Metody rekonstrukcji powierzchni z interferogramu światła białego bazujące na transformacie Hilberta

Khoma A., Manske E.

Zeszyty Naukowe Politechniki Rzeszowskiej. Elektrotechnika

|

2015

|

z. 34 [292], nr 4

71--75

PL

W pracy zaprezentowano oparte na transformacie Hilberta metody rekonstrukcji profilu powierzchni nieliniowej na podstawie interferogramu światła białego. Zbadano dokładność tych metod na przykładzie rekonstrukcji powierzchni kulistej. Badania obejmowały rekonstrukcję powierzchni na podstawie modelu matematycznego interferogramu oraz oszacowanie błędu rekonstrukcji profilu. Największą dokładność uzyskano dla metody estymacji chwilowej fazy interferogramu.

EN

The paper presents methods for nonlinear surface profile reconstruction from the white light interferogram based on Hilbert transform. The accuracy of these methods was analyzed on the example of a spherical surface reconstruction. The method investigation included surface and interferogram synthesis based on the mathematical model and estimation the profile reconstruction error. The method of estimating the instantaneous phase of the interferogram showed the greatest accuracy.

2

Interferometer-based scanning probe microscope for high-speed, long-range, traceable measurements

Vorbringer-Dorozhovets N., Manske E., Jäger G.

Pomiary Automatyka Kontrola

|

2014

|

R. 60, nr 2

69--72

EN

The specialty of the metrological SPM-head is the combined deflection detection system for simultaneous acquisition of bending, torsion and position of the cantilever with one measuring beam. The deflection system comprises a beam deflection and an interferometer in such a way that measurements of the cantilever displacement are traceable to the SI unit metre. Integrated into a NPM machine scans with a resolution of 0.1 nm over a range of 25 mm × 25 mm are possible.

PL

W artykule przedstawiono wyniki dotyczące opracowanej i zrealizowanej w Ilmenau University of Technology (Niemcy) maszyny Nano-pozycjonującej (NPM), która zapewnia nanometrową rozdzielczość oraz niepewność 3D pozycjonowania oraz pomiaru w zakresie 25 mm × 25 mm × 5 mm. Jednym ze składowych elementów tej maszyny, od którego zależą jej własności metrologiczne, jest mikroskop z sondą skanującą (SPM) na bazie interferometru, którego koncepcję przedstawiono na (rys. 1). Wykonana według tej koncepcji głowica metrologicznego SPM została zintegrowana z NPM maszyny (rys. 2). Osobliwością głowicy SPM jest system dla jednoczesnej akwizycji ugięcia, skręcania i pozycji belki wspornikowej tylko z jednej wiązki światła (rys. 1). Zostały wykonane badania dokładności pozycjonowania i pomiaru przy różnych szybkościach skanowania obiektu badanego od 1 µm/s do 1 mm/s. Przykładowe wyniki skanowania przedstawiono na rys. 3, 4. W celu wyznaczania jakości tych wyników oraz kalibracji SPM został wykorzystany zestaw wzorców wysokości skokowych z Physikalisch-Technische Bundesanstalt – PTB (rys. 6), oraz wykonane w specjalny sposób wzorce testowych wskaźników odniesienia rozstawionych na stosunkowo dużych odległościach (rys. 7). Uzyskane z SPM wyniki pomiarów wzorców wysokości oraz niepewności tych wyników wykazały bardzo dobrą zbieżność z wartościami wielkości tych wzorców (tab. 1). Wyznaczona powtarzalność wyników jest na poziomie poniżej 0.2 nm. Bardzo dobre wyniki uzyskano przy pomiarach testowych wskaźników odniesienia, powtarzalność wyników pomiaru centrów współrzędnych wskaźników wynosi poniżej 5 nm (tab. 2).

3

Nanomesstechnik – Nanomessmaschinen

Jager G., Manske E., Hausotte T., Buchner H.-J.

Zeszyty Naukowe Politechniki Rzeszowskiej. Elektrotechnika

|

2002

|

z. 22 [192]

103-109