Ograniczanie wyników
Czasopisma help
Autorzy help
Lata help
Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników

Znaleziono wyników: 43

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 3 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 3 next fast forward last
1
Content available remote Postępy nanometrologii układów MEMS/NEMS
PL
Przedstawiono podstawowe zagadnienia pomiaru właściwo- ści układów mikro- i nanoelektromechanicznych (micro- and nanoelectromechanical systems – MEMS/NEMS) przeznaczonych do wysokorozdzielczych obserwacji zmian masy i siły w zakresie mniejszym niż 1 ng i 1 pN.
EN
In the presented paper we discuss high resolution and sensitivity measurement method used in the characterization of modern micro- and nanoelectromechanical systems (MEMS, NEMS), which are foreseen to perform mass detection and force investigations in the range from 1 ng and 1 pN.
2
EN
According to the scaling laws for nanomechanical resonators, many of their metrological properties improve when downscaled. This fact encourages for constant miniaturization of MEMS/NEMS based sensors. It is a well known fact, that the laws of classical physics cannot be used to describe the systems which are arbitrarily small. In consequence, the classical description of nanoresonators must break down for sufficiently small and cool systems and then the quantum effects cannot be neglected. One of the fundamental question which arises is, how one may investigate quantum effects in MEMS/NEMS sensors and what is the influence of quantum effects on the performance of such systems. In this paper we would like to raise those issues by presenting the results of our work related to our estimations and calculations of MEMS/NEMS dynamics. The first and second sections are of theoretical character. In the first section (Classical modeling), we describe the classical methods for describing the resonator dynamics and the classical limit on the resolution of MEMS/NEMS based force sensors, which is set by the thermomechanical noise. In the second section (Quantum aspects), we concentrate on the quantum description of micro and nanoresonators and the influence of quantum effects, such as zero-point motion and back-action, on their performance (quantum limits). The third section is devoted to the presentation of our experimental methods of MEMS/NEMS deflection metrology, i.e. Optical Beam Deflection method (OBD) and fibre optics interferometry.
PL
Pomimo bardzo dynamicznego rozwoju technologii wytwarzania nanostruktur i nanoprzyrządów (np. struktur grafenowych, czy też tranzystorów o głęboko submikronowych rozmiarach) wciąż brakuje uniwersalnych i wielofunkcyjnych narzędzi do analizy zjawisk w nanoskali. Dostępne techniki bazujące na mikroskopii sił atomowych (Atomic Force Microscopy – AFM) umożliwiają z reguły monitorowanie jednego typu parametrów: mechanicznych, termicznych lub elektrycznych. W publikacji przedstawiono rezultaty prac badawczych, których celem było opracowanie mikrodźwigni krzemowych z piezorezystywną detekcją ugięcia, wyposażonych w przewodzące ostrze platynowe. Do wytworzenia struktur sondy wykorzystano typowe procesy mikrotechnologii krzemowej oraz technikę FIB (Focused Ion Beam), która pozwala zredukować promień krzywizny ostrza do wartości mniejszych od 100 nm. Opracowany przyrząd umożliwia zarówno analizę topografii powierzchni oraz jej charakteryzację termiczną i jest użytecznym narzędziem do pomiarów mikro- i nanostruktur elektronicznych. Konstrukcja przyrządu pozwala na jego łatwą integrację z mikro- lub nanomanipulatorami oraz instalację w komorze próżniowej skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM). Takie rozwiązanie umożliwia dokładną obserwację charakteryzowanej struktury oraz lokalizację sondy na jej powierzchni z nanometrową dokładnością w obszarze skanowania rzędu kilku centymetrów kwadratowych. Jest to niezwykle użyteczne przy analizie próbek o dużych rozmiarach. W publikacji przedstawiono rezultaty pomiarów termicznych na powierzchni mikro- i nanoprzyrządów elektronicznych przeprowadzonych przy użyciu przedstawionego systemu mikroskopu termicznego.
EN
Despite a dynamic development of the technology of nanostructures and nanodevices (e.g. graphene structures or deep sub-micron transistors) there is still a lack of universal and multi-functional tools for the analysis of phenomena at the nanoscale. Available techniques based on atomic force microscopy (AFM) generally allow monitoring one type of parameters: mechanical, thermal or electrical. The paper presents the results of research focused on developing silicon cantilevers integrated with a piezoresistive deflection sensor and with a conductive platinum tip. Standard silicon microtechnology processes and Focused Ion Beam (FIB) technique were used to fabricate microprobes with sharp tips and to reduce their final radius of curvature to less than 100 nm The developed probe is a useful tool for characterization of micro- and nanostructures, it enables analysis of the sample topography and its thermal properties. The design of the device allows its integration with micro- or nano-manipulator and installing them in the vacuum chamber of the scanning electron microscope (SEM). This enables precise observation of the investigated structure and location of the microprobe on its surface with a nanometric accuracy over a scanning area of several square centimeters. This is particularly useful when scanning samples with large dimensions. The paper presents the results of thermal measurements obtained with the described thermal microscope system on the surface of micro- and nanoelectronic devices.
PL
W wieku technologii ułatwiającej życie, termowizja kojarzona jest najczęściej z termomodernizacją i stratami ciepła w kontekście komfortu cieplnego klientów indywidualnych oraz użytkowników budynków komercyjnych. Abstrahując od militarnego rodowodu technologii termografi i, jest ona szeroko wykorzystywana nie tylko w budownictwie, medycynie ale i w inżynierii środowiska.
5
Content available remote Sterowanie i pomiar planarnych aktuatorów elektrostatycznych
PL
W niniejszym artykule zostały opisane badania dwóch typów planarnych aktuatorów elektrostatycznych. Przedstawiono zasadę działania aktuatorów z uwzględnieniem zjawiska przyciągania elektrod. Zaprezentowano obliczenia podstawowych parametrów mechanicznych takich jak stałe sprężystości i częstotliwości rezonansowe. Porównano ponadto charakterystyki uzyskane dwiema metodami – z zastosowaniem interferometru światłowodowego, a także światłowodowego czujnika zbliżeniowego. Omówiono wady i zalety wymienionych metod w odniesieniu do badanych aktuatorów.
EN
In this article investigations of two types of planar electrostatic actuators are described. The principle of actuator operation is explained. The basic parameters of the analysed system are calculated, including spring constant and resonant frequency. The characteristics measured with Fabry-Perot interferometer and fiber proximity sensor system are compared. The advantages and disadvantages of measurements planar electrostatic actuators with these two methods are described.
PL
Przedstawiono wyniki badań funkcjonalizowanych chemicznie miniaturowych czujników impedancyjnych wykonanych w technologii krzemowej. Pomiary widm impedancyjnych i analiza elektrycznych modeli równoważnych sensorów zanurzonych w alkoholach wykazały występowanie relaksacji dielektrycznej w zakresie bardzo małych częstotliwości związanej z istnieniem dipolowych stanów energetycznych na powierzchni SiO₂/SAM/alkohol. Zaobserwowano korelację pomiędzy wartościami przenikalności elektrycznej alkoholi a pojemnością czujnika zmierzoną przy częstotliwości 1 MHz.
EN
The results of investigations of chemically functionalized miniaturized impedance sensors made on silicon were performed. Measurement of impedance spectra and analysis of the electrical equivalent circuit of sensors immersed in alcohols revealed the presence of dielectric relaxation in the range of very low frequencies. This relaxation was associated with the existence of dipole energy states on the surface of SiO₂/SAM/alcohol. There was a correlation between alcohol and the dielectric sensor capacitance measured at a frequency of 1 MHz.
PL
W artykule oceniono wpływ czynników środowiskowych takich jak: płeć, miejsce zamieszkania, stan odżywienia, wykształcenie, aktywność fizyczna i sytuacja materialna, na częstość stosowania suplementów diety i powody sięgania po te preparaty. Badania przeprowadzono u 129 osób w wieku 14-25 lat. Informacje na temat stosowania suplementów diety uzyskano za pomocą metody sondażu diagnostycznego z zastosowaniem technik ankietowych.
EN
In the study a influence of environmental factors such as sex, place of living, nutritional status, education, physical activity and financial situation, on the frequency of use dietary supplements and the reasons for application these preparations was assessed. The study was conducted in 129 people aged 14-25. Information on the use of dietary supplements was obtained by the method of diagnostic survey using questionnaire techniques.
PL
Przedstawiono zależność rezystancji elektrycznej skrobi ziemniaczanej od wilgotności. Wyniki opracowano w postaci wykresów prostej i krzywej regresji oraz równań korelacyjnych. Między rezystancją elektryczną, a wilgotnością istnieje bardzo silny związek korelacyjny. Wyznaczono odchylenia standardowe, efekt liniowy i nieliniowy modeli regresyjnych. Metoda rezystancyjna nie jest dotąd stosowana do pomiaru wilgotności skrobi ziemniaczanej w warunkach przemysłowych. Pomiar wilgotności jest natychmiastowy.
EN
The paper presents a dependence of effective resistance of potato starch on moisture content at the outlet of a pneumatic drier. Results were presented in the form of plotted regression lines (Fig. 1) and regression curves (Fig. 2) an in the form of correlation equations (1) and (2). Very strong correlations (0.9846, 0.9997) were found between resistance and moisture content of potato starch. It results from available literature that there are no data on similar studies. To date only preliminary laboratory analyses have been conducted on the applicability of electric properties in measurements of moisture content in dried potatoes [4,5], dried carrots [6], dried vegetables [7] and other foodstuffs [8]. A novelty presented in this paper is the fact that the effective resistance method used in industrial practice facilitates rapid moisture content measurement in potato starch in the course of drying, which will contribute to an improvement of starch quality. The time of sample preparation for moisture content measurement is approx. 90 s and the measurement itself is instantaneous. Material for analyses comprised samples of potato starch with moisture content ranging from 15.2 to 24.7%. Starch drying was run in an experimental pneumatic drier. Effective resistance between sensor electrodes was a measure of moisture content in a given sample. Electric measurements were taken using a digital multimeter adapted to resistance measurements. Moisture content in starch samples was determined by gravimetry.
PL
W pracy przedstawiono układ do pomiaru statycznego wychylenia oraz charakterystyk rezonansowych mikrodźwigni sprężystych zintegrowanych w jednowymiarowej macierzy. Opisano budowę stanowiska do sterowania laserami półprzewodnikowymi oraz stabilizacji ich temperatury.
EN
In the paper set-up to measure static deflection and resonance characteristics of cantilevers was presented. The cantilevers was integrated in one-dimension matrix. Construction of semiconductor lasers control station and temperature controller was described.
PL
W artykule przedstawiono procesy technologiczne mikroinżynierii krzemowej wykorzystane do wytwarzania przyrządów opracowywanych w ramach projektu MNS-DIAG. Kluczowymi procesami dla wytwarzania opracowywanych w ramach tego projektu demonstratorów są: głębokie plazmowe trawienie podłoża krzemowego, procesy łączenia płytek podłożowych z innymi płytkami krzemowymi, ceramicznymi lub szklanymi, procesy elektrochemicznego osadzania metali szlachetnych oraz procesy nakładania i kształtowania warstw polimerowych.
EN
The development of silicon technology over the last few decades has enabled production of complex integrated circuits and has also contributed to the development of microsystems containing sensors, actuators, and signal processing circuits. Currently, microsystems based on silicon technology, complemented by processes specific to MEMS technology, are widely used in both automotive as well as in chemistry, biology or medicine. The paper presents processes used to manufacture silicon microsystems developed in the fame of the project “Microsystems for biology, chemistry and medical applications”. The project goal is to develop a range of biomedical devices and chemical sensors: lab on a chip for determination of psychotropic drugs in saliva samples, diagnostic instruments for analysis of body secretion for fertility and pathological states monitoring, diagnostic instruments for evaluation of bovine embryos, microreactors for cell culture, arrays of chemical sensors for detection of Gramnegative bacteria and MEMS for medical diagnostic equipment. Key manufacturing processes used for fabrication of these devices are: deep plasma etching of silicon substrate, bonding of silicon, ceramic or glass substrates, electrochemical deposition and patterning of noble metals and coating and patterning of polymer layers on silicon and glass substrates.
11
Content available remote Modelowanie 3-wymiarowe anizotropowego trawienia krzemu
PL
W artykule zostały przedstawione metody optymalizacji parametrów w programie Etch3D oraz wyniki symulacji trawienia krzemu w KOH w porównaniu ze strukturami próbnymi. Celem niniejszych badań była kalibracja parametrów symulatora do warunków procesów przeprowadzanych w ITE. Do analizy wpływu parametrów funkcji RPF (ang. Remove Probability Function) na parametry wyjściowe, zastosowano metodę Taguchiego. Pozwoliło to na optymalizację wyników symulacji do rzeczywistych procesów trawienia przeprowadzanych w ITE.
EN
The methods of parameters optimization in the program Etch3D and results of simulations of silicon etching in KOH in comparison with experiments are presented. The aim of this study was to calibrate the tool to a set of process conditions that is offered by ITE. The Taguchi approach [4] was used to analyze the influence of every RPF (Remove Probability Function) parameter on one or more output parameters. This allowed tuning the results of simulation to results of real etching performed at ITE.
EN
This paper presents a novel processing approach for rapid prototyping of electrostatically-driven MEMS. This approach is likely to reduce both the prototyping costs and time. In principle, a single mask is used to generate both the electro-mechanical structure and metallization for electrical contacts. The electro- mechanical (movable) structures are released in a process called dry-release which is carried out by means of a DRIE etcher.
PL
Artykuł opisuje nowatorski sposób szybkiego wytwarzania struktur testowych typu MEMS aktuowanych elektrostatycznie, który może w znacznym stopniu skrócić czas i zmniejszyć koszt wytwarzania tego typu struktur. Sposób ten polega na użyciu pojedynczej maski do wytworzenia zarówno struktury elektro-mechanicznej jak i doprowadzeń elektrycznych, które zostają uformowane i uwolnione w procesie trawienia jonowego zwanego dry-release.
PL
Unikalne właściwości mechaniczne i wysoki stosunek powierzchni do objętości mikrodźwigni sprężystych czynią je bardzo dobrymi czujnikami masy i siły. W połączeniu z chemiczną funkcjonalizacją powierzchni umożliwiają one obserwację zjawisk fizycznych i chemicznych zachodzących w skali molekularnej. Na Wydziale Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki PWr skonstruowano głowicę pomiarową z natężeniowym układem detekcji ugięcia oraz cieczowo-gazową komórkę pomiarową o objętości roboczej próbki rzędu 100 µl. Opracowano oprogramowanie do akwizycji i obróbki danych pomiarowych. Przeprowadzono eksperymenty z funkcjonalizacją powierzchni dźwigni tiolami kwasu 11-merkaptoundekanowego i wiązaniem jonów metali alkalicznych. Obserwowano zmianę parametrów rezonansowych dźwigni, świadczącą o adsorpcji masy i indukowaniu naprężeń powierzchniowych przez powstającą samoorganizującą się monowarstwę sensorową a następnie przez wiązane jony. Opracowano metodę monitorowania w czasie rzeczywistym procesu tworzenia monowarstwy receptorowej i wiązania kationów poprzez obserwację statycznego ugięcia mikrodźwigni w środowisku cieczowym. Wyniki przeprowadzonych badań świadczą o dużej czułości (obserwowane zmiany masy rzędu pikogramów) i szybkości reakcji (minuty) czujników oraz o przydatności proponowanej metody w diagnostyce chemicznej. Stanowią wstęp do dalszych prac nad detekcją substancji o znaczeniu biologicznym.
EN
Unique mechanical properties and high surface area to volume ratio of cantilevers make them highly valuable mass and force sensors. Combined with chemical surface functionalization they facilitate investigation of molecular scale physical and chemical phenomena. At the Faculty of Microsystems Electronics and Photonics of Wrocław University of Technology a measurement head with optical deflection detection setup and a 100-µl liquid/gas microcell have been constructed. Measurement and acquisition software has been developed Experiments were conducted on microcantilever's surface functionalization with 11-mercaptoundecanoic acid thiols and on alkaline ions capture. Change of resonance parameters of the microcantilever was observed suggesting mass adsorption and surface stress induced by growing sensing self-assembled monolayer and subsequently bycations capture. A method for real-time monitoring of sensing monolayer and cation capture by observation of static bending of a cantilever in liguid environment has been developed. Experimental results indicate high sensitivity (observed mass change on the order of picograms) and rapid response (minutes) of microcantilever sensors and applicability of proposed method in chemical diagnostics. They constitute an introduction to further studies on detection of biologically important substances.
EN
In this paper, we present a novel micromachined Atomic Force Microscopy (AFM) micro-cantilever equipped with a sharp, conductive platinum tip. The processing sequence proposed in this article integrates a high reproducibility and precise post processing applying Focused Ion Beam tip modification. The cantilever is designed for Scanning Thermal Microscopy (SThM) applications in a standard setup with the optical AFM detection system.
PL
W artykule zaprezentowano nową konstrukcję dźwigni mikroskopu sił atomowych (AFM) wyposażoną w przewodzące, platynowe ostrze pomiarowe. Sekwencja technologiczna wytwarzania przedstawianej sondy integruje wysoką powtarzalność z precyzyjnym postprocessingiem ostrza za pomocą zogniskowanej wiązki jonów (ang. Focus Ion Beam). Prezentowana mikrosonda przystosowana jest do zastosowań w skanującym mikroskopie termicznym (ang. Scanning Thermal Micorscopy) ze standardową, optyczną detekcją ugięcia dźwigni. W artykule zaprezentowano proces technologiczny wytwarzania sondy oraz uzyskane wyniki pomiarów.
EN
Tremendous progress of microelectronic technology observed within last 40 years is closely related to even more remarkable progress of technological tools. However it is important to note, that these new tools may be used for fabrication of diverse multifunctional, integrated structures as well. Such devices, called MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System) and MOEMS (Micro-Electro-Opto-Mechanical-System) integrate microelectronic and micromechanical structures in one system enabling interdisciplinary application, with most interesting and prospective being micro- and nanoscale investigations. In this paper, authors present some issues on heterogeneous microsystems design and manufacturing. Examples of various applications of microelectronic technology for fabrication of microsystems which may be used for micro- and nanoscale application are also presented.
PL
Obserwowany na przestrzeni ostatnich 40 lat postęp w dziedzinie technologii mikroelektronicznych związany jest bezpośrednio z rozwojem i powstawaniem nowych narzędzi technologicznych. Należy zaznaczyć, iż narzędzia te przyczyniły się również do powstania szeregu różnorodnych, wielofunkcyjnych, zintegrowanych struktur. Struktury (przyrządy) te, nazywane MEMS (ang. Micro-Electro-Mechanical-System) lub MOEMS (ang. Micro-Electro-Opto-Mechanical-System integrują w ramach jednego systemu elementy mikromechaniczne i mikroelektroniczne, co otwiera wiele nowych interdyscyplinarnych zastosowań jak np. badania w mikro- i nanoskali. W artykule autorzy przedstawiają wybrane zagadnienia związane z projektowaniem i wytwarzaniem tego typu heterogenicznych mikrosystemów. Ponadto w artykule przedstawione zostały przykłady wykorzystania technologii krzemowej do wytworzenia mikrosystemów oraz ich zastosowania w mikro- i nanoskali.
PL
Opracowano ogólny model matematyczny zużycia energii podczas smażenia żywności. Dla tego modelu sformułowano model zużycia energii na przykładzie smażenia chipsów ziemniaczanych. Badania przeprowadzono teoretycznie i doświadczalnie. Badania teoretyczne polegały na symulacji komputerowej zużycia energii, a badania doświadczalne – na pomiarach jej zużycia podczas smażenia chipsów.
EN
General mathematical model was formulated for heat energy consumption during the process of frying food. On the basis of the general mathematical model, a model of heat energy consumption was formulated on the example of frying potato crisps. The problem was investigated both theoretically and empirically. The theoretical investigation consisted in the computer simulation of heat energy consumption and the experiments – on the measurements of heat energy consumption during the process of frying potato crisps.
17
Content available Popularność suplementów diety wśród młodzieży
PL
W artykule przedstawiono znajomość zagadnień związanych z suplementami diety przez gimnazjalistów i licealistów. Omówiono najbardziej popularne suplementy diety i wskazano źródła wiedzy młodzieży o tych suplementach oraz powody stosowania suplementacji diety przez wymienione osoby.
EN
This paper describes the most popular diet supplements, presents young people’s knowledge concerning supplements, source of this knowledge and causes of supplement application by young people.
EN
The methods of parameter optimization in Etch3DTM simulator and the results of the comparison of simulations of silicon etching in KOH with experiments are presented. The aim of this study was to calibrate the tool to a set of process conditions that is offered by Institute of Electron Technology (ITE). The Taguchi approach was used to analyze the influence of every remove probability function (RPF) parameter on one or more output parameters. This allowed tuning the results of simulation to the results of real etching performed in ITE.
19
Content available Identyfikacja wybranych artykułów rybnych
PL
W artykule opisano dwa sposoby identyfikacji produktów rybnych: od produktu gotowego do surowca oraz od surowca do produktu yotowego. Identyfikacja polegała na prześledzeniu w odpowiedniej dokumentacji procesu przetwarzania i dystrybucj wybranych artykułów rybnych: „ Makreli w galarecie " i krewetki.
EN
The paper describes two ways of identification of fish products: from the final product to the raw material and from the raw material to the product. The documentation of production and distribution of selected fish products: "Mackerel in aspic " and shrimp was exammined.
PL
Specjalizowane mikrosystemy, takie jak czujniki, moduły nadawczo-odbiorcze, układy zasilania czy też elementy MEMS są produkowane w dedykowanych technologiach. Projektant, który chce zintegrować takie moduły w jeden wielofunkcyjny moduł, napotyka niespotykane dotychczas problemy, takie jak zależności termiczne, elektryczne, mechaniczne między poszczególnymi modułami. W artykule prezentujemy próby wyjaśnienia oraz ułatwienia rozwiązania tych problemów.
EN
Nowadays, the complex silicon systems formed by the several specialized devices like sensors, RF modules, power devices, MEMS devices are fabricated in dedicated technologies. If the designer attempts to integrate them into the one big multifunctional system, he meets the new, yet unexplored fields for the multidisciplinary, mutually dependent thermal, electrical, EM and mechanical parameters modeling. This paper attempts to clarify, and presents how to simplify this problem.
first rewind previous Strona / 3 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.