Vibration testing of silicone microelements using two-beam interferometric microscopy with time-averaging and the temporal phase shifting (TPS) method for automatic analysis of interferograms is investigated. The information on the sinusoidal vibration amplitude encoded in the changes of the contrast or intensity modulation of interference fringes is aimed at. The influence of experimental errors related to recording component TPS frames on the retrieved zero order Bessel function is studied numerically and experimentally.
PL
Praca dotyczy badania drgań mikroelementów krzemowych metodą mikroskopii interferencyjnej z uśrednianiem w czasie i automatyczną analizą interferogramów metodą czasowej dyskretnej zmiany fazy. Celem analizy jest informacja o rozkładzie amplitudy sinusoidalnych drgań zakodowana w postaci zmian kontrastu lub modulacji intensywności prążków interferencyjnych. W pracy zamieszczono analizę numeryczną i doświadczalną wpływu błędów rejestracji interferogramów składowych na odtwarzaną funkcję Bessela zerowego rzędu.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.