Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

3-D silicon micromachining for AFM/LFM microprobe development

Grabiec P., Domański K., Dumania P., Studzińska K., Gotszalk T., Rangelow I. W., Sunyk R.

Electron Technology

2000

Vol. 33, No. 4

577-591

Results of work on the development of microprobes for the simultaneous Atomic/Lateral Force Measurements (AFM/LFM) are presented. AFM/LFM microprobes for surface characterization were modelled using FEM, designed and fabricated using 3-D silicon processing sequence. Finally microprobes were evaluated by using them for characterization of the test surfaces.

Nanomechanical behaviour of silicon

Rymuza Z., Misiak M., Grabiec P., Rangelow I., Sossna E., Sunyk R.

Tribologia

1999

nr 3

397-409

Nanomechanical chracterization of N-type, P-type single crystal silicon and polysilicon engineering, structural materials for Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) was carried out and hardness and modulus of elasticity are given and discussed. The effect of crystal orientation ( <100> and < 111> ) on nano-scale mechanical behaviour of these materials is also considered. Comparison of nanoewar of single-crystal P-type silicon <100> and the ultra-thin coating of silicon dioxide on the same substrate is also included.

Przedstawiono wyniki badań nanomechanicznych krzemu krystalicznego typu N i P oraz polikrzemu jako materiałów konstrukcyjnych dla mikrosystemów (MEMS).Podano twardość oraz moduł sprężystości.Omówiono talże wpływ orientacji krystalicznej krzemu na jego własności mechaniczne. Zamieszczono porównanie nanozużycia krzemu typu P<100> i warstwy dwutlenku krzemu na tym samym podłożu krzemowym.