Helowe nieszczelności wzorcowe służące do kontroli wskazań helowych wykrywaczy nieszczelności wymagają również okresowej kontroli. W artykule opisano metodę i aparaturę pozwalającą wyznaczyć natężenie wypływu helu z nieszczelności wzorcowej, w zakresie 10 -9...10 -4 mbarl/s. Zastosowana metoda akumulacyjno-porównawcza opiera się na porównaniu dwóch próbek helu: wzorcowej o znanej ilości helu i zakumulowanej z mierzonej nieszczelności. Do porównania służą wskazania prądów jonowych helu obydwu próbek określone za pomocą kwadrupolowego spektrometru mas. Opisano również aparaturę próżniową służąca do tego celu.
EN
Helium calibrated leaks used for checking indications of mass spectrometers helium leak detectors, needs temporary calibration. This paper describe the method and the apparatus for determinate the helium flow rate from calibrated leak in the range 10 -9... 10 -4 mbarl/s. The accumulate-damp method are used for helium calibrated leaks. In this method a standard known quantity of helium is compared to helium collecting from unknown leak by quadrupole mass spectrometer.
Dostawcy wyrobów i usług działający w systemie zarządzania jakością, spełniający wymagania normy PN-EN ISO 9001: 2001 powinni stosować system potwierdzania metrologicznego użytkowanego wyposażenia pomiarowego. Jedną z form potwierdzenia metrologicznego wyposażenia pomiarowego jest jego wzorcowanie. Wzorcowane próżniomierzy przeprowadzane jest dla sprawdzenia poprawności ich wskazań, jak również do wyznaczania ich parametrów. W akredytowanym Laboratorium Badawczo-Pomiarowym Techniki Próżni (LTP-PIE) Przemysłowego Instytutu Elektroniki wykonywane jest wzorcowanie próżniomierzy w zakresie ciśnień 10⁵ ÷ 10⁻⁶ Pa, oraz przetworników ciśnienia absolutnego w zakresie 105 ÷ 19 kPa metodą bezpośrednie porównania ze wskazaniami próżniomierza wzorcowego. Laboratorium LTP-PIE posiada od roku 1998 r. akredytację jako laboratorium wzorcujące w zakresie przyrządów do pomiarów ciśnienia (próżni).
EN
Suppliers of products or services who operate a quality system and meet requirements of the PN-EN ISO 9001:2001 standard ought to use metrological confirmation system for measuring equipment. The metrological confirmation normally includes calibrations of measuring equipment. The result of a calibration permits the estimate of errors of indication of vacuum gauges and also determinate metrological parameters. Et Vacuum Measurement Laboratory of Industrial Institute of Electronics (LTP-PIE) are calibrated vacuum gauges in the range 10⁵ ÷ 10⁻⁶ Pa and absolute pressure transducers in the range 105 ÷ 19 kPa by direct comparison with a reference gauge. Laboratory LTP-PIE have accreditation certificate of calibration laboratory (Polish Centre for Accreditation Nr AP 009). Accredited activity - pressure measurements (vacuum). Accreditation was granted on 1998.
Pirani vacuometer was built on the basis of new analog circuity which strictly converts a resistance variations to voltage. Measuring bridge can be compensated at high vacuum or atmospheric pressure in the gauge. obtained calibration curves for these two cases indicate enhanced sensitivity for high and low ranges on the vacuometer scale, respectively.
The small size pumps are used in the evacuation systems mainly for electron device and as a detector. The design and properties of two versions diode ion pumps are described. The first one, PJ-2N is designed to work at the low magnetic field in the range 600-800 Gs and the anode voltage of 3-5 kV. The second pump PJ-2 is equipped with differential Ti/Ta cathodes and magnet with magnetic firld anout 1200 Gs.
Opisano małogabarytowe pompy jonowe przeznaczone do wytwarzania i pomiaru próżni w niewielkich obiektach próżniowych (np. lampach mikrofalowych). PJ2-N może pracować z polem magnetycznym o natężeniu 600-800 Gs. PJ-2 wyposażona jest w katody różnicowe Ti-Ta i pracuje z polem magnetycznym o natężeniu 1200 Gs. Napięcie anodowe obydwu pomp 3-5 kV.
EN
The small size pumps are used mainly to evacuate electron devices systems and as a vacuum detectors. The design and properties of two versions diode ion pumps are described. The first one, PJ-2N is designed to work at the low magnetic field in the range 600-800Gs and at the anode voltage of 3-5 kV. The second pump P--2 is equipped with differential Ti-Ta cathodes and magnet with magnetic field of about 1200 Gs.
New design of two ion sorption pumps PJ-50 and PJ-400 is presented. The pumps were constructed basing on literature data, computer simulation of discharge processes chamber parameters, and our experimental results. PJ-50 set consists of two anode-cathode packages consisting of anode cells of different diameter (23 mm, 18 mm and 15 mm). PJ-400 set consists of eight packages, which contain 23 mm and 18 mm diameter cells. Cathodes are made of titanium and tantalum while anodes are of ss304. Presented pumps are equipped optionally with NEG getters, as well as titanium sublimation cartridge with cryogenic shroud. Results of investigations show the ultimate pressures in the 10-9 Pa range and nitrogen pumping speeds 70 dm3/s and 420 dm3/s. Argon pumping speeds are 40 dm3/s and 250 dm3/s for the PJ-50 and PJ-400 pumps respectively.
W Instytucie Technologii Próżniowej skonstruowano i uruchomiono urządzenia do wzorcowania próżniomierzy w zakresie od 10-2 do 105 Pa oraz od 10-6 do 10-1 Pa. Przy rozwiązywaniu problemów podczas konstruowania układu bardzo wysokiej próżni, stosowano badania symulacyjne metodą Monte Carlo. W 1988 r. Laboratorium ITP uzyskało Certyfikat Akredytacji z Głównego Urzędu Miar, który pozwala wzorcować próżniomierze metodą porównawczą w powyższych zakresach ciśnień.
EN
In the Institute of Vacuum Technology (IVT) there were constructed and evaluated 2 units for calibration of vacuum gauges in the range of 10-2 — 105 Pa and 10-6 -- 10-1 Pa respectively. In designing of UHV rangę chamber some difficulties arouse which were solved when investigations by Monte Carlo simulation were performed. In the year 1998 Measurement Laboratory of IVT received a certificate of accreditation from the Central Office of Measures in Poland.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.