Przedstawiono parametry procesu HF CVD i jego odmiany. Zbadano wpływ domieszkowania i polaryzacji na jakość otrzymanych warstw za pomocą spektroskopii Ramana.
EN
Parameters of the HF CVD process (Hot Filament Chemical Vapour Deposition) and its modification were presented. The influence of doping and polarisation on the quality of received films by means of Raman spectroscopy was investigated.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.