PL
 |
EN
Preferencje help
Polish version English version Język
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
Wyniki wyszukiwania
help Sortuj według:

help Ogranicz wyniki do:
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
1
Content available remote Sensors on the Basis of PorSi for MEMS
Lobur M., Kosobutskyy P., Naperalski A., Monastyrski L.
Machine Dynamics Research
|
2013
|
Vol. 37, No. 2
60-64
EN
We propose to use technology of electrochemical formation of low-dimensional porous silicon(porSi), which is compatible with the standard technologies of silicon VLSI, for creation of sensor part of MEMS "Lab-on-chip" type.
first rewind previous Strona / 1 next fast forward last
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.