Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

2 Przegląd Elektrotechniczny

2 2007

Znaleziono wyników: 2

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Numerical computation of electric fields including singularities in Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

Greiff M., Maischak M., Bala U., Mathis W., Stephan E.

Przegląd Elektrotechniczny

2007

R. 83, nr 11

47-49

In the simulation of micro electro mechanical systems (MEMS) the calculation of electric fields plays an important role. In many cases electric fields near corners have to be calculated. Since in these cases the singular behavior has to be taken into account they deserve special attention. An augmented finite element approach is presented and applied to an electrostatic force microscope (EFM).

Obliczenia pól elektrycznych odgrywają ważną rolę w symulacjach systemów elektro-mechanicznych, MEMS. W wielu przypadkach istnieje potrzeba obliczenia pola elektrycznego blisko narożników obiektu. W artykule przedstawiono zastosowanie rozszerzonej metody elementów skończonych do obliczania sił elektrostatycznych w mikroskopie EFM.

Numerical calculation of electrostatic forces in Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

Greiff M., Bala U., Freitag J., Mathis W.

Przegląd Elektrotechniczny

2007

R. 83, nr 11

18-20

Since the forces are one of the main parts of the interface between mechanical and electrical part, their calculation plays an important role in the simulation of micro electro mechanical systems (MEMS). In this paper an approach for the numerical calculation of electrostatic forces in MEMS is presented and applied to an electrostatic force microscope (EFM).

Siła jest głównym elementem "łączącym" obwody mechaniczne i elektryczne. Jej obliczanie odgrywa ważną rolę w symulacji mikroukładów elektro-mechanicznych (MEMS). W artykule przedstawiono numeryczne obliczenia sił elektrostatycznych w systemach MEMS na przykładzie mikroskopu EFM.