Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Sterownik do wieloetapowych procesów technologicznych

Łukasiak L., Grabowski J., Nowek P., Stankiewicz K., Beck R. B., Jakubowski A.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2004

Vol. 45, nr 10

22-23

Przedstawiono sprzęt i oprogramowanie sterownika pieca do wieloetapowych procesów technologicznych stosowanych przy wytwarzaniu struktur półprzewodnikowych. Sterownik zaprojektowano w Instytucie Mikroelektroniki i Optoelektroniki Politechniki Warszawskiej.

Equipment for automated operation of a furnace for fabrication of semiconductor structures is presented together with the controlling software. The system was designed in the Institute of Microelectronics & Optoelectronics, WUT.