Rozpylanie jonowe, występujące podczas bombardowania powierzchni ciała stałego jonami, wpływa na strukturę geometryczna tej powierzchni. Jednym z ważniejszych elementów struktury geometrycznej jest chropowatość powierzchni. Do jej analizy coraz częściej i chętniej wykorzystywany jest rachunek fraktalny. W niniejszej pracy omówiono wpływ zmian profilu powierzchni i wysokości nierówności na wymiar fraktalny analizowanej powierzchni. Wyniki teoretyczne porównano z danymi doświadczalnymi
EN
Ion sputtering is one of the effects occurring during ion bombardment of solid state surfaces. The geometrical structure of the surface is affected by ion sputtering. It is possible to analyse the roughness of the surface by use of fractals. In this paper the influence of the profiles changes and height of the irregularities of surface on the fractal dimension is presented.
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.