Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 2010

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Deposition of PZT on copper-coated polymer films

Suchaneck G., Volkonskiy O., Gerlach G., Hubicka Z., Dejneka A., Jastrabik L., Gunther S., Schultheiss E.

Materiały Ceramiczne

2010

T. 62, nr 4

456-460

In this work we analyze the deposition process of (111)-textured Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin perovskite films directly on copper-coated polymer films. Cu thin films with a thickness of about 200 nm were deposited by DC sputtering in a reel-to-reel processing system onto KaptonŽ HN films with a thickness of 25 žm comprising an in-situ reactively sputtered dielectric TiO2-x adhesion layer. PZT thin films with a thickness of 200 to 400 nm were deposited using a pulse-modulated RF plasma jet system consisting of a hollow cathode for reactive sputtering.

W pracy analizujemy proces osadzania cienkiej powłoki perowskitowej, złożonej z Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) o teksturze (111), bezpośrednio na powłokach polimerowych pokrytych miedzią. Cienkie powłoki Cu o grubości około 200 nm zostały osadzone za pomocą stałoprądowego rozpylania jonowego, w układzie przetwarzania szpula na szpulę, na powłoki KaptonŽ HN o grubości 25 žm, zawierające in-situ reakcyjnie rozpyloną adhezyjną warstwę dielektryczną TiO2-x. Cienkie powłoki PZT o grubości od 200 do 400 nm osadzano przy pomocy układu z palnikiem plazmowym modulowanym impulsowo z częstotliwością radiową (RF), zawierającego katodę wnękową, przeznaczoną do rozpylania reakcyjnego.