Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

1 Problemy Eksploatacji

1 2005

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Control systems in-situ of nitrided layer growth and deposited layer in PVD processes

Ratajski J., Olik R., Baranov A.

Problemy Eksploatacji

2005

nr 2

93--104

In the paper in-situ visualisation system of nitrided layer growth and monitoring system of growth and etching process of carbon films via X-ray reflectivity have been presented. The principle of operation of the visualisation system is based on a complementary interaction of the magnetic sensor and the theoretical-experimental model of the process (model of the process). The magnetic sensor is placed directly in the furnace retort and constitutes an element of the system which monitors the nucleation and the growth of the nitrided layer as a result of a change of the value of the magnetic permeability of the ferromagnetic diffusion layer, and the creation of iron nitrides being paramagnetic in the temperatures of the process. In-situ X-ray reflectivity provides a unique possibility of simultaneous determination of roughness and density of the deposited film.

W pracy omówiono układ in-situ wizualizacji wzrostu warstwy azotowanej oraz układ monitorowania wzrostu warstw węglikowych za pomocą analizy odbitego promieniowania rentgenowskiego. Zasada działania układu wizualizacji polega na komplementarnym współdziałaniu czujnika magnetycznego i modelu eksperymentalno-teoretycznego procesu. Czujnik magnetyczny jest umieszczony bezpośrednio w retorcie pieca i stanowi element układu, który monitoruje zarodkowanie i wzrost warstwy azotowanej w wyniku zmiany wartości przenikalności magnetycznej ferromagnetycznej warstwy dyfuzyjnej i tworzenia się azotków żelaza, paramagnetycznych w temperaturach procesu. Analiza in-situ odbitego promieniowania rentgenowskiego dostarcza unikalnych możliwości równoczesnego określania chropowatości i gęstości nanoszonej warstwy.