Wyniki wyszukiwania - BazTech

Ograniczanie wyników

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Falowodowy mikrointerferometr siatkowy do pomiaru mikroprzemieszczeń w płaszczyźnie próbki

Sałbut Leszek

Przemysł Chemiczny

2024

T. 103, nr 11

1320--1323

Przedstawiono podstawy fizyczne metody interferometrii siatkowej oraz jej zalety i ograniczenia. Zaprezentowano koncepcję falowodowego mikrointerferometru siatkowego przeznaczonego do analizy rozkładów przemieszczeń w płaszczyźnie mikroelementów lub w niewielkich obszarach pomiarowych, np. wokół złączy lub pęknięć. Omówiono budowę falowodowej głowicy mikrointerferometru siatkowego wraz z analizą wybranych parametrów konstrukcyjnych, optycznych i metrologicznych. Na zakończenie przedstawiono przykładowe zastosowania mikrointerferometru w badaniach mikroelementów MEMS/MOEMS oraz propagacji pęknięć w węglikach spiekanych i stopach aluminium.

The phys. basis of the grating (moiré) interferometry method and its advantages and limitations were presented. The concept of a waveguide grating microinterferometer designed for the anal. of displacement distributions in the plane of microelements or in small measurement areas, such a around joints or cracks, was presented. The construction of the waveguide grating microinterferometer head was described, together with the anal. of basic design, optical and metrological parameters. Examples of the microinterferometer’s use in mech. tests of MEMS/MOEMS microelements and in studies of crack propagation in various materials were presented.