Tytuł artykułu
Autorzy
Wybrane pełne teksty z tego czasopisma
Identyfikatory
Warianty tytułu
Języki publikacji
Abstrakty
Gdy około 15 lat temu zaczęła się rozwijać technologia tworzenia miniaturowych urządzeń elektromechanicznych, znana jako MEMS, perspektywa pojawienia się nowych możliwości była oczywista, jednak nie od razu było wiadomo, jak to nastąpi. W miarę rozwoju technologii starano się stosować ją w ten sam sposób, w jaki używano systemów elektromechanicznych o większych rozmiarach – do tego stopnia, że tworzono kopie prostych maszyn wykorzystujących przekładnie i dźwignie w rozmiarach mierzonych w tysięcznych częściach milimetra. Konstrukcje te tworzono przy wykorzystaniu metod stosowanych w przemyśle półprzewodników. Miały one przyczynić się do udoskonalenia procesu, jednak ich możliwości komercyjne były ograniczone.
Wydawca
Czasopismo
Rocznik
Tom
Strony
16--18
Opis fizyczny
rys.
Twórcy
autor
- RS Components Sp. z o.o., ul. Puławska 303, 02-785 Warszawa
Bibliografia
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-9727fdb0-6541-4c8d-947a-9116ad5c8464