BazTech - Yadda

Ograniczanie wyników

1 Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

1 2007

Znaleziono wyników: 1

Liczba wyników na stronie

Wyniki wyszukiwania

Wyszukiwano:
w słowach kluczowych: materials for electronics

Sortuj według:

Ogranicz wyniki do:

Zastosowanie metody 3-ω do pomiaru przewodnictwa cieplnego materiałów litych oraz warstw

Wojciechowski K. T., Mania R., Mars K., Zybała R.

Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania

2007

Vol. 48, nr 10

61-63

Technologie mikroelektroniczne wymagają opracowania metod pomiaru przewodnictwa cieplnego materiałów otrzymywanych w postaci cienkich warstw nanoszonych na metaliczne lub ceramiczna podłoża. Metoda 3-omega pozwala na wykonanie dokładnych pomiarów przewodnictwa cieplnego materiałów litych oraz warstw w kierunku prostopadłym do podłoża. Opisano opracowaną metodę oraz układ pomiarowy. Metoda została sprawdzona na różnego typu materiałach monokrystalicznych, polikrystalicznych oraz warstwach w zakresie przewodnictwa cieplnego 0,2...140 Wm-1K-1.

Technology in microelectronics requires the development of methods of measuring thermal conductivities of materials in the form of films deposited on the substrate. The 3-omega provides accurate measurements of values of thermal conductivity of bulk materials and films in normal-to-plane direction. The paper describes developed method and experimental setup. The method was successfully verified on various polycrystalline materials, single crystals and layers over the thermal conductivity range from 0.2 to 140 Wm-1 K-1.