Nowoczesne metody interferencyjne w pomiarach topografii powierzchni

• Autorzy: Łukianowicz C.

Warianty tytułu

EN

Modern interference methods in surface topography measurements

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule krótko przedstawiono dwie metody interferencyjne stosowane w dokładnych pomiarach topografii powierzchni. Są to metody interferencyjne oparte na technikach pomiaru fazy oraz na technikach wykorzystujących analizę korelacji koherencji.

EN

The paper presents two interference methods that are used in precise measurements of surface topography. These are interference methods which use the techniques of phase-shifting interferometry and coherence scanning interferometry.

Słowa kluczowe

PL

pomiary topograficzne; topografia powierzchni; metoda interferencyjna; analiza korelacji koherencji

EN

surface topography measurement; interference methodscoherence; coherence scanning interferometry

• Wydawca: ELAMED Media Group
• Czasopismo: Stal, Metale & Nowe Technologie
• Rocznik: 2016
• Tom: nr 9-10
• Strony: 153--156
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., wykr.

Twórcy

autor

Łukianowicz C.

• Katedra Inżynierii Produkcji, Wydział Mechaniczny Politechniki Koszalińskiej, Politechnika Koszalińska

Bibliografia

• 1. Pawlus P.: Topografia powierzchni – pomiar, analiza, oddziaływanie. Oficyna Wydawnicza Politechniki Rzeszowskiej, Rzeszów 2006.
• 2. Wieczorowski M.: Wykorzystanie analizy topograficznej w pomiarach nierówności powierzchni. Wydawnictwo Politechniki Poznańskiej, Poznań 2009.
• 3. Wieczorowski M.: Systemy do pomiaru topografii powierzchni. „Stal, Metale & Nowe Technologie”, 5-6/2014, s. 138-142.
• 4. Pluta M.: Advanced Light Microscopy, Vol. 3, Measuring Techniques. North Holland, Amsterdam 1993.
• 5. Patorski K., Kujawińska M., Sałbut L.: Interferometria laserowa z automatyczną analizą obrazu. Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej, Warszawa 2005.
• 6. Kujawinska M.: Spatial Phase Measurement Methods. [In:] Interferogram Analysis: Digital Fringe Pattern Measurement Technique. Robinson D. W. & Reid G. T. (Eds), pp. 141-193, IOP Publishing, Bristol and Philadelphia 1993.
• 7. Schmit J.: White Light Interferometry. [In:] „Encyclopedia of Modern Optics”, Guenther R. D., Steel D. G. & Bayvel L. (Eds), Vol. 2, pp. 375–387, Elsevier Academic Press, Amsterdam 2005.

Uwagi

Opracowanie ze środków MNiSW w ramach umowy 812/P-DUN/2016 na działalność upowszechniającą naukę (zadania 2017).