Development of REFET for Differential Measurements of pH in a Fluidic System

• Autorzy: Zaborowski M. , Szmigiel D. , Grabiec P.

Identyfikatory

DOI

10.12915/pe.2014.11.39

Warianty tytułu

PL

Rozwój technologii REFETów z przeznaczeniem do pomiaru pH

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

This paper describes the fabrication of the REFET structure by means of plasma oxidation of silicon nitride and discusses the results of differential pH measurements and quasi-REFET characterization. The source follower measurement circuit and housings for the fluidic systems are shown. The pH measurement of the diluted hydrochloric acidis presented as an exemplary application.

PL

W pracy przedstawiono dotychczasowy rozwój technologii REFETów. Opisano wytwarzanie REFETa metodą utleniania plazmowego warstwy azotkowej. Zaprezentowano układ pomiarowy wtórnika źródłowego i obudowy przepływowe. Podano wyniki kwalifikacji kwazi-REFETów i różnicowych pomiarów pH. Zaproponowano zastosowanie przyrządu wraz z pseudoreferencyjną elektrodą Pt do pomiarów w rozcieńczonym HCl.

Słowa kluczowe

EN

REFET; ISFET; reference electrode

PL

REFET; ISFET; elektroda referencyjna

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2014
• Tom: R. 90, nr 11
• Strony: 142--146
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., il., schem., tab., wykr.

Twórcy

autor

Zaborowski M.

• Instytut Technologii Elektronowej, al. Lotników 32/46, 02-668 Warszawa

autor

Szmigiel D.

• Instytut Technologii Elektronowej, al. Lotników 32/46, 02-668 Warszawa

autor

Grabiec P.

• Instytut Technologii Elektronowej, al. Lotników 32/46, 02-668 Warszawa

Bibliografia

• 1. Bergveld P., Thirty years of ISFETOLOGY, Sensors and Actuators B, 88 (2003), pp 1-20.
• 2. P. Bergveld, A. Van Den Berg, P.D. Van Der Wal, M. Skowronska-Ptasinska, E.J.R. Sudhölter, D.N. Reinhoudt, How electrical and chemical requirements for refets may coincide, Sensors and Actuators, Volume 18 (1989), Issue 3, Pages 309-327
• 3. Chudy M., Wróblewski W., Brzózka Z., Towards REFET, Sensors and Actuators B 57 (1999) 47–50
• 4. Lai CS, Lue CE, Yang CM, Dawgul M, Pijanowska DG, Optimization of a PVC Membrane for Reference Field Effect Transistors, Sensors 9, No 3, (2009) 2076-2087
• 5. Bermudez V.M., Wet-Chemical Treatment of Si3N4 Surfaces Studied Using Infrared Attenuated Total Reflection Spectroscopy, Jourmal of The Electrochemical Society, 152 (2) F31-F36 (2005).
• 6. Palan B., Roubik K., Husak M., Courtois B., CMOS ISFET-Based Structures for Biomedical Applications, in: 1st Annual International IEEE-EMBS Special Topic Conference on Microtechnologies in Medicine and Biology – Proceedings. Piscataway, IEEE, 2000, pp. 502-506.
• 7. Jaroszewicz B., Zaborowski M, Tomaszewski D, Taff J, Malinowski A, Grabiec P, Development of bsc isfet design and technology for environment monitoring, IX Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa ELTE 2007, Kraków 04-07.09.2007
• 8. Zaborowski M., Tomaszewski D., Grabiec P.: Adjustment of ISFET-Type Micro- and Nanosensors, XI Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa ELTE 2013, Ryn 16-20.04.2013
• 9. Zaborowski M., Grabiec P., Wróblewski W., Romanowska E., Wrzesińska H., Planar Pseudo-Reference Electrode for pH Measurement, VIII Electron Technology Conf. ELTE 2004, Stare Jabłonki, 19-22.04.2004 p.458-9