The morphology and optical properties of silicon etched with bimetallic catalysts

• Autorzy: Kędra A. , Socha R. P. , Zimowska M. , Panek P. , Szyk-Warszyńska L. , Lipiński M. , Warszyński P.

Identyfikatory

DOI

10.15199/ELE-2014-110

Warianty tytułu

PL

Morfologia i właściwości optyczne powierzchni krzemu trawionego z użyciem katalizatorów bimetalicznych

• Konferencja: Sympozjum "Fotowoltaika i Transparentna Elektronika : Perspektywy Rozwoju" (5 ; 24-27.04.2014 ; Świeradów Zdrój ; Polska)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

The presented results concern an application of metallic and bimetallic catalysts for silicon etching process. The metal assisted etching (MAE) of the Si(001) model surface was performed in HF-HNO₃-H₂O solution. The metallic (Pd, Ag) and their bimetallic catalytic systems obtained with the ratio of 1:1 were used for the etching. The metals were deposited by magnetron sputtering then consecutively annealed to obtain different dispersions. The morphology of the etched surfaces was analyzed and their optical parameters were determined. It was determined that application of bimetallic systems led to the lower silicon surface reflectance than obtained for single metals.

PL

Przedstawione wyniki badań dotyczą zastosowania katalizatorów metalicznych i bimetalicznych do procesu trawienia krzemu. Badano morfologię i właściwości optyczne modelowej powierzchni Si(001) trawionej w obecności katalizatora metalicznego (MAE) w roztworze HF-HNO₃-H₂O. Jako katalizatory zastosowano metale Pd i Ag oraz ich bimetaliczne układy otrzymane w stosunku 1:1. Do badań modelowych metale nanoszono metodą rozpraszania magnetronowego, po czym układy wygrzewano uzyskując różne sposoby dyspersji. Przeprowadzono analizę morfologii oraz określono właściwości optyczne powierzchni otrzymanych po procesie trawienia krzemu. Znaleziono bimetaliczne układy katalityczne, których zastosowanie prowadziło do uzyskania mniejszej reflektancji powierzchni krzemu od otrzymanej przy zastosowaniu pojedynczego metalu.

Słowa kluczowe

EN

silicon etching; bimetallic catalysts; metal assisted etching

PL

trawienie krzemu; katalizatory bimetaliczne; trawienie wspomagane cząsteczkami metalicznymi

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2014
• Tom: Vol. 55, nr 8
• Strony: 64--66
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., il.

Twórcy

autor

Kędra A.

• Jerzy Haber Institute of Catalysis and Surface Chemistry PAS, Kraków

autor

Socha R. P.

• Jerzy Haber Institute of Catalysis and Surface Chemistry PAS, Kraków

autor

Zimowska M.

• Jerzy Haber Institute of Catalysis and Surface Chemistry PAS, Kraków

autor

Panek P.

• Institute of Metallurgy and Materials Science PAS, Kraków

autor

Szyk-Warszyńska L.

• Jerzy Haber Institute of Catalysis and Surface Chemistry PAS, Kraków

autor

Lipiński M.

• Institute of Metallurgy and Materials Science PAS, Kraków

autor

Warszyński P.

• Jerzy Haber Institute of Catalysis and Surface Chemistry PAS, Kraków

Bibliografia

• [1] M. Lipiński, Wpływ właściwości fizycznych warstw I obszarów przypowierzchniowych na parametry użytkowe krzemowego ogniwa słonecznego, (ISBN 978-83-60768-80-8), Kraków 2011.
• [2] P. Panek, Ogniwa słoneczne – podstawy działania, budowa, zastosowania, Fotowoltaika Polska, 2011.
• [3] Z. Huang, N. Geyer, P. Werner, J. Boor, U. Gösele, Metal-Assisted Chemical Etching of Silicon: A Review; Advanced Materials 23 (2011) 285–308.
• [4] H. Asoh, F. Arai, S. Ono, Effect of noble metal catalyst species on the morphology of macroporous silicon formed by metal-assisted chemical etching, Electrochimica Acta 54 (2009) 5142–5148.
• [5] A. Ruban, B. Hammer, P. Stoltze, H.L. Skriver, J.K. Nřrskov, J. Mol. Catal. A 115 (1997) 421–429.
• [6] M. Lipiński, J. Cichoszewski, R.P. Socha, Sposób teksturowania powierzchni krzemu krystalicznego, 2013, Patent nr PL 213197 B1.

Uwagi

EN

The research leading to these results has received funding from the Polish-Norwegian Research Programme operated by the National Centre for Research and Development under the Norwegian Financial Mechanism 2009–2014 in the frame of Project Contract No POL-NOR/199380/89/2014.