Trawienie plazmowe i ultradźwiękowe warstw tlenku indowocynowego (ITO) – Cz. I. Właściwości powierzchni warstw ITO

• Autorzy: Araźna A. , Lipiec K. , Stęplewski W.

Warianty tytułu

EN

Plasma and ultrasonic treatment of indium-tin oxide (ITO) films Part I. Surface properties of ITO films

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy badano właściwości powierzchni warstw ITO poddanych trawieniu w ultradźwiękach oraz trawieniu plazmowemu. Określano kąt zwilżania powierzchni próbek, obliczano energię powierzchniową oraz chropowatość powierzchni. Zastosowano mycie w płuczce ultradźwiękowej w sekwencji roztworów aceton/alkohol etylowy (w temperaturze pokojowej) oraz czyszczenie plazmowe (O-GDT – ang.: oxygen glow discharge) pod ciśnieniem 0,1 × 10-3 Ba. Stwierdzono, że trawienie plazmowe pozwala uzyskać wyższą wartość energii powierzchniowej (66,7 mJ/m2), niższą wartość chropowatości Rpv (1,219 nm) i większe zmniejszenie wartości kąta zwilżania powierzchni ITO niż czyszczenie w ultradźwiękach.

EN

In this study, the effect of different surface treatment methods of ITO layers on their surface properties were investigated by measurements of contact angle, surface free energy and surface roughness. There were used washing in an ultrasonic bath of acetone and ethyl alcohol in the room temperature as well as oxygen glow discharge (O-GDT) under the pressure 0.1 × 10–3 Ba. We stated that oxygen glow discharge method brings higher surface energy (66.7 mJ/m2), lower value of Rpv roughness (1.219 nm), and reduction in the values of contact angles of ITO substrates than ultrasonic than ultrasonic cleaning.

Słowa kluczowe

PL

ITO; elektronika drukowana; kąt zwilżania; AFM

EN

ITO; printed electronics; contact angle; AFM

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2015
• Tom: R. 91, nr 9
• Strony: 220--223
• Opis fizyczny: Bibliogr. 14 poz., rys., tab., wykr.

Twórcy

autor

Araźna A.

• Instytut Tele- i Radiotechniczny, ul. Ratuszowa 11,03-450 Warszawa

autor

Lipiec K.

• Instytut Tele- i Radiotechniczny, ul. Ratuszowa 11,03-450 Warszawa

autor

Stęplewski W.

• Instytut Tele- i Radiotechniczny, ul. Ratuszowa 11,03-450 Warszawa

Bibliografia

• [1] Park S.-M., Ebihara K., Ikegami T., Lee B.-J., Lim K.-B., Shin P.- K., Enhanced performance of the OLED with plasma treated ITO and plasma polymerized thiophene buffer layer, Current Applied Physics, 7 (2007), No. 5, 474–479
• [2] Li C.N., Kwong C.Y., Djurisic A.B., Lai P.T., Chui P.C., Chan W.K., Liu S.Y., Improved performance of OLEDs with ITO surface treatments, Thin Solid Films, 477 (2005), No. 1-2, 57-62
• [3] Petrosino M., Vacca P., Miscioscia R., Nenna G., Minarini C., Rubino A., Effect of electrodes properties on OLED performances, Photonic Mater., Devices. and Appl. II. Proc. of SPIE, 6593 (2007), No. 659311
• [4] Zhong Z.Y., Jiang Y.D., Surface modification and characterization of indium–tin oxide for organic light-emitting devices, J. Coll. Inter. Sci., 302 (2006), No. 2, 613-619
• [5] Besbes S., Ouada H. B., Davenas J., Ponsonnet L., Jaffrezic N., Alcouffe P., Effect of surface treatment and functionalization on the ITO properties for OLEDs, Mater. Sci. Eng. C., 26 (2006), No. 2-3, 505-510
• [6] Zhi You Z., Ya Dong J., Effect of oxygen plasma treatment on the surface properties of tin-doped indium oxide substrates for polymer LEDs, J. Coll. Inter. Sci., 300 (2006), No. 2, 697-703
• [7] You Z.Z., Dong J.Y., Oxygen plasma treatment effects of indium-tin oxide in organic light-emitting devices, Vacuum, 81 (2007), No. 7, 819–825
• [8] You Z. Z., Combined AFM, XPS, and contact angle studies on treated indium–tin-oxide films for organic light-emitting devices, Materials Letters, 61 (2007), No. 18, 3809–3814
• [9] Kim S. H., Baek S. J., Chang Y. C., Chang H. J., Dependence of plasma treatment of ITO electrode films on electrical and optical properties of polymer light-emitting diodes, Phys. Status Solidi A, 209 (2012), No. 11, 2317–2323
• [10] Kawai T., Maekawa Y., Kusabiraki M., Plasma treatment of ITO surfaces to improve luminescence characteristics of organic light-emitting devices with dopants, Surface Science, 601 (2007), No. 22, 5276–5279
• [11] Tang F.-C., Chang J., Chou W.-Y., Cheng H.-L., Hsu S. L.-C., Chen J.-S., Sheu H.-S., Effective oxygen plasma treatment on indium tin oxide electrode to improve organic solar cell efficiency, Phys. Status Solidi A, 209 (2012), No. 2, 369–372
• [12] Araźna A., Kozioł G., Janeczek K., Futera K., Stęplewski W., Investigation of surface properties of treated ITO substrates for organic light-emitting devices, Journal of Material Science: Materials in Electronics, 24 (2013), No. 1, 267-271
• [13] Balkenende A. R., Van de Boogaard H. J. A. P., Scholten M., Willard N. P., Evaluation of Different Approaches To Assess the Surface Tension of Low-Energy Solids by Means of Contact Angle Measurements, Langmuir, 14 (1998), No. 20, 5907-5912
• [14] Davenas J., Besbes S., Abderrahmen A., Jaffrezic N., Ben Ouada H., Surface characterisation and functionalisation of indium tin oxide anodes for improvement of charge injection in organic light emitting diodes, Thin Solid Films 516 (2008), No. 7, 1341-1344