Modeling of vibrating angular. Motion sensor in Matlab/SIMULINK

• Autorzy: Nazdrowicz Jacek
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

This paper presents different models and results of simulations of MEMS vibrating gyroscope in Matlab/SIMULINK environment. Each model is created with different approach, using different blocks and different physics. Therefore author presents his proposal of mathematical, electrical equivalent and physical models. Results obtained from these models can give some hints regarding design and dimensions of some crucial parts of MEMS gyroscope. Here, decoupled vibrating sensor is considered, which minimize drive and sense motion mutual influence.

Słowa kluczowe

EN

microelectromechanical systems; simulation model; microaccelerometer; MATLAB; SIMULINK; MEMS modeling; Simscape toolbox

PL

mikroukład elektromechaniczny; model symulacyjny; mikroakcelerometr; MATLAB; SIMULINK; modelowanie MEMS; SimScape

• Wydawca: Lodz University of Technology. Department of Microelectronics and Computer Science
• Czasopismo: International Journal of Microelectronics and Computer Science
• Rocznik: 2018
• Tom: Vol. 9, nr 1
• Strony: 27--32
• Opis fizyczny: il.

Twórcy

autor

Nazdrowicz Jacek

• Department of Microelectronics and Computer Science, Lodz University of Technology, Lodz, Poland

Uwagi

Opracowanie rekordu w ramach umowy 509/P-DUN/2018 ze środków MNiSW przeznaczonych na działalność upowszechniającą naukę (2019).