Stanowisko do badania dźwigni mikromechanicznych wzbudzanych elektromagnetycznie

• Autorzy: Majstrzyk W. , Kopiec D. , Raczkowski K. , Gosiewska A. , Świątkowski M. , Sierakowski A. , Grabiec P. , Gotszalk T.

Identyfikatory

DOI

10.15199/ELE-2014-163

Warianty tytułu

EN

Setup for measurement for electromagnetically actuated microcantilevers

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono stanowisko pomiarowe do badania dźwigni mikro- oraz nanomechanicznych stanowiących z punktu widzenia nanometrologii atrakcyjne narzędzia umożliwiające poznanie zjawisk zachodzących w mikro- oraz nanoskali. Manipulacja wówczas wymaga odpowiednich narzędzi, które będą w stanie wykonać ruch rzędu pojedynczych nanometrów czy też działać siłą rzędu pojedynczych nanonewtonów. Struktury wykonane w Instytucie Technologii Elektronowej w Warszawie są idealnym przykładem narzędzi, które umożliwiają obserwację oraz manipulację w mikro- i nanoskali. Istotnym zagadnieniem z punktu widzenia metrologii jest ocena właściwości metrologicznych mikro- i nanostruktur. W głównej mierze interesujące są minimalne oraz maksymalne wartości mierzonych wychyleń oraz sił. Integracja, w strukturze dźwigni, aktuatora wychylenia w postaci pętli prądowej umieszczanej dodatkowo w polu magnetycznym stwarza możliwość kontrolowania wychylenia oraz drgań tego typu mikroprzyrządów.

EN

In this work measurement system for micro- and nanomechanical cantilevers characterization is presented. From metrological point of view they pose as convenient tools for recognition of phenomena occurring in micro- and nanoscale. Precise tools are required that will allow manipulation in single nanometer scale and exert force in range of nanonewtons. Structures developed in Institute of Electron Technology in Warsaw are best example of tools that allow observation and manipulation in micro- and nanoscale. The relevant issue is evaluation of metrological properties of micro- and nanostructures. In the main concern, the most interesting are minimum and maximum values of measured deflections and forces. Actuator integration in form of current loop in cantilever structure creates possibility to control the deflection and vibrations of such microtools.

Słowa kluczowe

PL

mikrodźwignia; siła Lorentza; nanometrologia; mikronarzędzia; nanonarzędzia

EN

microcantilever; Lorentz Force; nanometrology; microtools; nanotools

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2014
• Tom: Vol. 55, nr 10
• Strony: 23--25
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., il., wykr.

Twórcy

autor

Majstrzyk W.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

autor

Kopiec D.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

autor

Raczkowski K.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

autor

Gosiewska A.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

autor

Świątkowski M.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

autor

Sierakowski A.

• Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa

autor

Grabiec P.

• Instytut Technologii Elektronowej, Warszawa

autor

Gotszalk T.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

Bibliografia

• [1] Sandeep Kumar Vashist and Harry Holthöfer, Microcantilevers for Sensing Applications, Measurement and Control 2010 p. 43–84.
• [2] Kopiec Daniel, Nieradka Konrad, Małozięć Grzegorz, Gotszalk Teodor, Wysokorozdzielczy pomiar ugięcia mikro- i nanomechanicznych czujników sił o zakresie pikonewtonów, Elektronika (Warszawa). 2012, R. 53, nr 10, s. 114–117.
• [3] K. Nieradka et. al, Fabrication and characterization of electromagnetically actuated microcantilevers for biochemical sensing, parallel AFM and nanomanipulation, Microelectronic Engineering, Volume 98, October 2012, Pages 676–679.
• [4] http://www.sios.de/karta katalogowa wibrometru SIOS SP-S 120.
• [5] Bronaugh E. L., Helmholtz coils for calibration of probes and sensors: limits of magnetic field accuracy and uniformity, Electromagnetic Compatibility, 1995. Symposium Record., 1995 IEEE International Symposium on, vol., no., pp. 72, 76, 14–18 Aug 1995.
• [6] Jóźwiak G., P. Zawierucha, D. Kopiec, T. P. Gotszalk: Analiza szumów w mikro-mechanicznych czujnikach rezonansowych. Przegląd Elektrotechniczny. Rok 86, nr 10, s. 36–39, 2010.