Multilevel control system for low-pressure plasma processes

• Autorzy: Przybylski J.

Warianty tytułu

PL

Wielopoziomowy system sterowania stanowiska PVD

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

The article presents a multilayer control system for test stands designed for PVD (Physical Vapour Deposition) technological processes used for depositing thin surface layers. This system provides control of the test stand via the HMI (Human Machine Interface) control panel and by using specialized supplies of plasma sources. The primary control system that utilizes a PC computer with a dedicated application allows a full automation of surface layer deposition technology. Developed and implemented on a test stand, the systems have been tested based on sample technological processes used in material engineering.

PL

W artykule przedstawiono wielopoziomowy system sterowania przeznaczony dla stanowisk do prowadzenia procesów technologicznych PVD (Physical Vapour Deposition) wykorzystywanych w nakładaniu cienkich warstw wierzchnich. System pozwala na bezpośrednie sterowanie stanowiskiem badawczym za pomocą panelu operatorskiego HMI (Human Machine Interface) oraz przy wykorzystaniu specjalizowanych zasilaczy źródeł plazmy. Nadrzędny system sterowania wykorzystujący komputer PC z dedykowaną aplikacją pozwala na pełną automatyzację realizacji technologii osadzania warstw wierzchnich. Opracowany i zaimplementowany na stanowisku badawczym system został przetestowany w przykładowych procesach technologicznych wykorzystywanych w inżynierii materiałowej.

Słowa kluczowe

EN

control system; PVD test stand; modbus communication module

PL

system sterowania; stanowisko PVD

• Wydawca: Wydawnictwo Naukowe Instytutu Technologii Eksploatacji - Państwowego Instytutu Badawczego
• Czasopismo: Problemy Eksploatacji
• Rocznik: 2016
• Tom: no. 3
• Strony: 115--123
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., rys.

Twórcy

autor

Przybylski J.

• Institute for Sustainable Technologies - National Research Institute, Radom

Bibliografia

• 1. Donnet C., Erdemir A.: Historical developments and new trends in tribological and solid lubricant coatings. Surface and Coating Technology, 180–181 (2004) p. 76-84.
• 2. Mazurkiewicz A. (ed.): Nanonauki i nanotechnologie - stan i perspektywy rozwoju, ITeE-PIB (2007).
• 3. Mazurkiewicz A., Smolik J.: The innovative directions in development and implementations of hybrid technologies in Surface engineering; Archives of metallurgy and materials, Volume 60 (2015), Pages 2161-2172.
• 4. Trybus L.: Rozproszone systemy sterowania DCS. Wydawnictwo PAK 1/2006.
• 5. Majcher A., Przybylski J., Mrozek M., Matras E., Gospodarczyk A., Neska M., Gut P.: Zdecentralizowany system sterowania procesami plazmowego rozpylania wieloźródłowego, Sprawozdanie z działalności statutowej. ITeE - PIB, Radom, 2015.
• 6. Kościelny J.M.: Praktyczne problemy diagnostyki procesów przemysło-wych. Pomiary Automatyka Robotyka 2/2010.

Uwagi

PL

Opracowanie ze środków MNiSW w ramach umowy 812/P-DUN/2016 na działalność upowszechniającą naukę.