Concept of Electron Beam Physical Vapour Deposition test stand with specific functional properties

• Autorzy: Przybylski J. , Majcher A. , Gut P.

Warianty tytułu

PL

Koncepcja budowy stanowiska do technologii Electron Beam Physical Vapor Deposition o specyficznych cechach użytkowych

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

EB-PVD technology is currently the subject of intense material engineering investigations, because its application enables the procurement of specific functional materials, especially materials with increased antiwear properties. The efficiency of such tests can be significantly increased by the application of test stands, allowing for the realisation of investigations on a wide range of materials with an easy selection and alteration of process parameters and the application of various methods of additional plasma ionisation. The article presents the concept of such a stand that assumes the inclusion of an electron gun into the test stand itself. Additionally, the conditions of the integration of this element with the test stand are shown. The inclusion of the gun does not change the functionality and modularity of the stand.

PL

Technologia fizycznego osadzania z fazy gazowej z wykorzystaniem wiązki elektronowej (EB-PVD), dzięki uzyskiwaniu różnorodnych materiałów funkcjonalnych, o zwiększonych właściwościach w szczególności przeciwzużyciowych, jest przedmiotem intensywnych badań inżynierii materiałowej. Efektywność takich badań może być zwiększona poprzez wykorzystanie odpowiednich stanowisk umożliwiających prowadzenie prac z szerokim zakresem materiałów, łatwym doborem i zmianą parametrów procesowych, stosowaniem różnych metod dodatkowej jonizacji plazmy. W artykule przedstawiono koncepcję budowy takiego stanowiska. Zakłada ona włączenie wyrzutni elektronowej do stanowiska badawczego technologii PVD. Przedstawiono warunki integracji tego elementu ze stanowiskiem. Dołączenie wyrzutni zachowuje dotychczasową funkcjonalność i modułowość stanowiska oraz zapewnia uzyskanie specyficznych cech użytkowych dających możliwość powtarzalnej produkcji materiałów komercyjnych oraz prowadzenia prac badawczo-rozwojowych.

Słowa kluczowe

EN

EB-PVD; surface engineering; electron gun; modular test stand

PL

EB-PVD; inżynieria powierzchni; działo elektronowe; modułowe stanowisko badawcze

• Wydawca: Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
• Czasopismo: Tribologia
• Rocznik: 2013
• Tom: nr 2
• Strony: 151--158
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., rys.

Twórcy

autor

Przybylski J.

• Institute for Sustainable Technologies – National Research Institute, ul. Pułaskiego 6/10, 26-600 Radom

autor

Majcher A.

• Institute for Sustainable Technologies – National Research Institute, ul. Pułaskiego 6/10, 26-600 Radom

autor

Gut P.

• Institute for Sustainable Technologies – National Research Institute, ul. Pułaskiego 6/10, 26-600 Radom

Bibliografia

• 1. Szymański H., Friedel K., Słówko W.: Urządzenia elektronowiązkowe, WNT Warszawa 1990 (in polish).
• 2. Dobrzańska-Danikiewicz A.D.: Metodologia komputerowo-zintegrowanego prognozowania rozwoju inżynierii powierzchni materiałów. Open Acces Library, 2012, vol. 1(7) (in polish).
• 3. Yanar N.M., Kim G.M., Pettit F.S., Meier G.H.: Degradation of EBPVD YSZ Thermal Barrier Coatings on Platinum Aluminide and NiCoCrAlY Bond Coats During High Temperature Exposure. Department of Materials Science and Engineering University of Pittsburgh, Pittsburgh, PA 15261. USA.
• 4. Movchan B.A.: Functionally graded EB PVD Coatings, Surface and Coatings Technology 149 (2002), s. 252-262.
• 5. Czopik A., Sielanko W., Jędrzejczyk M.: System sterowania wiązką elektronów dział elektronowych dużej mocy w zastosowaniu do urządzeń EB PVD. Elektronika 1/2009, s. 49-53 (in polish).
• 6. Dora J., Felba J., Sielanko W.: A new generation of power supplies for electron beam welding machines, Vacuum 77 (2005), s. 463-467.
• 7. Burakowski T.: Wiązka elektronowa i możliwości jej wykorzystania do poprawy własności powierzchni. Mechanik 8-9/1992, s. 281-284 (in polish).
• 8. Smolik J.: Rola warstw hybrydowych typu warstwa azotowana/powłoka PVD w procesie zwiększania trwałości matryc kuźniczych. Studia i rozprawy. Wydawnictwo Instytutu Technologii Eksploatacji - PIB, Radom 2007 (in polish).