The influence of deposition conditions on structure of PVD coatings obtained in the magnetron process

• Autorzy: Kwaśny W. , Jung T.

Warianty tytułu

PL

Wpływ parametrów nanoszenia na strukturę powłok otrzymanych w magnetronowym procesie PVD

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

This paper presents the influence of deposition conditions on texture and stress results of TiN coatings deposited by using the PVD magnetron process. Modification of parameters was related to the changes of temperature and substrate potential. The article presents the results of an analysis of texture and stress measurement obtained by X-ray methods and the results of microhardness measurement.

PL

W pracy przedstawiono wpływ parametrów nanoszenia na teksturę i naprężenia powłok TiN uzyskanych w magnetronowym procesie PVD. Modyfikacja parametrów dotyczyła zmiany temperatury procesu oraz polaryzacji podłoża. W artykule przedstawiono wyniki analizy tekstury i pomiaru naprężeń uzyskane metodami rentgenowskimi oraz wyniki pomiaru mikrotwardości.

Słowa kluczowe

EN

PVD coatings; stress analysis; structure; texture; X-ray analysis

PL

powłoki PVD; analiza naprężeń; struktura; tekstura; analiza rentgenowska

• Wydawca: Wydawnictwo Politechniki Krakowskiej im. Tadeusza Kościuszki
• Czasopismo: Czasopismo Techniczne. Mechanika
• Rocznik: 2015
• Tom: Y. 112, iss. 2-M
• Strony: 119--124
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., tab., wykr., il.

Twórcy

autor

Kwaśny W.

• Institute of Engineering Materials and Biomaterials, Faculty of Mechanical Engineering, Silesian University of Technology

autor

Jung T.

• Institute of Engineering Materials and Biomaterials, Faculty of Mechanical Engineering, Silesian University of Technology

Bibliografia

• [1] Kwaśny W., Predicting properties of PVD and CVD coatings based on fractal quantities describing their surface, Journal of Achievements in Materials and Manufacturing Engineering, Vol. 37, 2009, Issues 2, 125-192.
• [2] Dobrzański L.A., Kwaśny W., Effect of the substrate bias on structure and properties of the TiN coatings obtained in the PVD process, Inżynieria Materiałowa, nr 6 (137), Międzyzdroje 2003, 453-456.
• [3] Pawlik K., Determination of the Orientation Distribution Function from Pole Figures in Arbitrarily Defined Cells, Physica Status Solidi (b) 134, 1986, 477-483.
• [4] Lukaszkowicz K., Czyzniewski A., Kwaśny W., Pancielejko M., Structure and mechanical properties of PVD coatings deposited onto the X40CrMoV5-1 hot work tool steel substrate, Vacuum, nr 86, 2012, 1186-1194.
• [5] Kwaśny W., Nuckowski P., Jung T., Rdzawski Z., Głuchowski W., Effect of plastic deformation on the structure and texture of CuSn6 alloy, Technical Transactions, 1-M/2013, Kraków 2013, 213-219.

Uwagi

EN

Tymoteusz Jung is a holder of a scholarship from the project “DoktoRIS – Scholarship program for innovative Silesia” co-financed by the European Union under the European Social Fund.