Algorytm cyfrowej korekcji głębi ostrości w elektronowej mikroskopii skaningowej

• Autorzy: Bużantowicz M. , Bużantowicz W.

Warianty tytułu

EN

Focus stacking algorithm for scanning electron microscopy

• Konferencja: XVIII Międzynarodowa Szkoła Komputerowego Wspomagania Projektowania, Wytwarzania i Eksploatacji, 12-16 maja 2014, Szczyrk
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Głębia ostrości w skaningowych mikroskopach elektronowych (SEM) ograniczona jest czynnikami fizycznymi. Opracowany algorytm eliminuje niepożądane efekty charakterystyczne dla serii zobrazowań SEM (przesunięcia, zmiany geometrii) oraz zwiększa głębię ostrości poprzez cyfrową korekcję i złożenie zbioru fotografii w jeden obraz o żądanych parametrach. Działanie aplikacji jest niezależne od typu mikroskopu, stąd może ona współpracować z urządzeniami pomiarowymi różnych producentów. Istnieje również możliwość wykorzystania przedstawianego algorytmu do korekcji zobrazowań pozyskiwanych z klasycznych mikroskopów optycznych.

EN

The depth of field (DoF) in scanning electron microscopes (SEM) is limited by physical factors. The developed algorithm eliminates adverse characteristics for a variety of SEM visualizations (drifts, changes in geometry) and increases the DoF by digital correction and assembling a set of photographs into a single image with desired parameters. The algorithm is independent from the type of device, so it can cooperate with microscopes delivered by different manufacturers. There is also a possibility of using the proposed solution to increase quality of visualizations obtained from conventional optical microscopes.

Słowa kluczowe

PL

korekcja głębi ostrości; cyfrowe przetwarzanie obrazu; skaningowa mikroskopia elektronowa

EN

focus stacking; digital image processing (DIP); scanning electron microscopy (SEM)

• Wydawca: Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
• Czasopismo: Mechanik
• Rocznik: 2014
• Tom: R. 87, nr 7CD
• Strony: 59—68
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., rys.

Twórcy

autor

Bużantowicz M.

• Wojskowa Akademia Techniczna

autor

Bużantowicz W.

• Wojskowa Akademia Techniczna

Bibliografia

• [1] Bercovici A., Hadley A., Villanueva-Amadoz U.: Improving Depth of Field Resolution for Palynological Photomicrography, Palaeontologia Electronica, Vol. 12, Issue 2, 5T: 12p, 2009, http://palaeo-electronica.org/2009_2/170/index.html
• [2] Boyde A.: Improved Depth of Field in the Scanning Electron Microscope Derived from through-Focus Image Stacks, Scanning, Vol. 26, 2004, pp. 265-269.
• [3] Forster B., Van De Ville D., Berent J., Sage D., Unser M.: Complex wavelets for extended depth-of-field: A new method for the fusion of multichannel microscopy images, Microscopy Research and Technique, No. 65 (1-2), 2004, pp. 33-42.
• [4] Forster B., Van De Ville D., Berent J., Sage D., Unser M.: Extended depth-of-focus for multi-channel microscopy images: a complex wavelet approach, Proceedings of IEEE International Symposium on Biomedical Imaging: Nano to Macro, 15-18 April 2004, Arlington, VA, USA, Vol. 1, pp. 660-663.
• [5] Hariharan H., Koschan A., Abidi B., Page D., Abidi M., Frafjord J., Dekanich S.: Extending Depth of Field in LC-SEM Scenes by Partitioning Sharpness Transforms, Microscopy Today, March 2008, pp. 18-20.
• [6] Sheppard C.J.R., Wilson T.: Depth of field in the scanning microscope, Optic Letters, Vol. 3, No. 3, September 1978, pp. 115-117.
• [7] Soler C., Subr K., Durand F., Holzschuch N., Sillion F.: Fourier Depth of Field, ACM Transactions on Graphics, Vol. 28, No. 2, Article No. 18, 2009, pp. 1-12.