Influence of gold electrodes on the properties of shear horizontal acoustic plate mode viscosity sensor in Bt-cut quartz

• Autorzy: Soluch W. , Łysakowska M. , Wróbel T.

Warianty tytułu

PL

Wpływ złotych elektrod na właściwości czujnika z poprzecznym horyzontalnym akustycznym modem płytowym w kwarcu o orientacji BT

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Po raz pierwszy wykonano obliczenia i pomiary wpływu złotych elektrod na właściwości czujnika lepkości z poprzecznym horyzontalnym akustycznym modem płytowym (PHaMP) w kwarcu o orientacji BT (-50.5°YX90°). stwierdzono, że amplituda drgań mechanicznych na powierzchni płytki kwarcowej maleje wraz ze wzrostem grubości warstwy złota. Gdy grubość warstwy złota wzrasta po jednej stronie płytki kwarcowej, to zmniejszanie ma miejsce po tej samej stronie, podczas gdy pozostaje niezmienione po stronie przeciwnej. Dla jednego z PHaMP, amplituda drgań mechanicznych zmalała dwa razy gdy grubość warstwy złota wzrosła od 0,1 μm do 1 μm. Efekt ten został potwierdzony przez pomiar zmian tłumienności linii opóźniającej w funkcji lepkości roztworów gliceryny i wody.

EN

Until now the influence of gold electrodes on the properties of shear horizontal acoustic plate modes (SHAPMs) in BT-cut quartz (-50.5°YX90°) was never before calculated or measured. Calculation presented in this study show that the amplitude of mechanical motion at the quartz plate surface decreases with an increase of the thickness of the gold layer. When the thickness of the gold layer is increased only on one side of the quartz plate, the amplitude decreases on the same side, whereas it remaines unchanged on the opposite side. For one of the SHAPMs, the amplitude of mechanical motion become about twice as big when the gold layer thickness increased from about 0.1 μm to 1 μm. This effect was confirmed by the measurements of the changes of the delay line insertion loss against viscosity of glycerine and water solutions.

Słowa kluczowe

PL

poprzeczne horyzontalne akustyczne mody płytowe; kwarc o orientacji BT; złote elektrody; linia opóźniająca; tłumienność wtrącenia; czujnik lepkości

EN

shear horizontal acoustic plate modes; BT-cut quartz; gold electrodes; delay line; insertion loss; viscosity sensor

• Wydawca: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
• Czasopismo: Materiały Elektroniczne
• Rocznik: 2017
• Tom: T. 45, nr 2-4
• Strony: 3--5
• Opis fizyczny: Bibliogr. 2 poz., rys.

Twórcy

autor

Soluch W.

• Institute of Electronic Materials Technology, 133 Wólczyńska str., 01-919 Warsaw, Poland

autor

Łysakowska M.

• Institute of Electronic Materials Technology, 133 Wólczyńska str., 01-919 Warsaw, Poland

autor

Wróbel T.

• Institute of Electronic Materials Technology, 133 Wólczyńska str., 01-919 Warsaw, Poland

Bibliografia

• [1] Soluch W., Lysakowska M.: Properties of shear horizontal acoustic plate modes in BT-cut quartz, IEEE Trans., Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control, 2011, 58, 2239 - 2243
• [2] Nishikawa T., Tani A., Shirai K., Takeuchi C.: SH-type surface acoustic waves on Y-cuts quartz, Proc. IEEE Frequency Control Symp., 1980, 286 -291