PL EN


Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
Tytuł artykułu

Optimization of gas injection conditions during deposition of AlN layers by novel reactive GIMS method

Identyfikatory
Warianty tytułu
Języki publikacji
EN
Abstrakty
EN
In 2011, we proposed a novel magnetron sputtering method. It involved the use of pulsed injection of working gas for the initiation and control of gas discharge during reactive sputtering of an AlN layer (Gas Injection Magnetron Sputtering – GIMS). Unfortunately, the presence of Al–Al bonds was found in XPS spectra of the AlN layers deposited by GIMS onto Si substrate. Our studies reported in this paper proved that the synchronization of time duration of the pulses of both gas injection and applied voltage, resulted in the elimination of Al–Al bonds in the AlN layer material, which was confirmed by the XPS studies. In our opinion the most probable reason of Al–Al bonds in the AlN layers deposited by the GIMS was the self-sputtering of the Al target in the final stage of the pulsed discharge.
Wydawca
Rocznik
Strony
171—175
Opis fizyczny
Bibliogr. 12 poz., rys., wykr.
Twórcy
autor
autor
autor
autor
autor
Bibliografia
  • [1] ZDUNEK K., NOWAKOWSKA-LANGIER K., CHODUN R., DORA J., Gas injection as a tool for plasma proces control during coating deposition, invited lecture,AEPSE’2011, Dalian, China, 2011.
  • [2] ZDUNEK K., NOWAKOWSKA-LANGIER K., CHODUN R., DORA J., Surf. Coat. Tech., 228 (2013), S367.
  • [3] ZDUNEK K., Surf. Coat. Tech., 201 (2007), 4813.
  • [4] POSADOWSKI W.M., Thin Solid Films, 343 – 344(1999), 85.
  • [5] POSADOWSKI W.M., Thin Solid Films, 392 (2001), 201.
  • [6] ARNELL R., KELLY P., BRADLEY J., Surf. Coat. Tech.,188 – 189 (2004), 158.
  • [7] ZDUNEK K., NOWAKOWSKA-LANGIER K., CHODUN R., KUPCZYK M., SIWAK P., Vacuum, 85 (2010), 514.
  • [8] DMITROVA V., MANOVA D., PASKOVA T., UZUNOV T., IVANOV N., DECHEV D., Vacuum, 51 (1998), 161.
  • [9] MORTET V., VASIN A., JOUAN P., ELMAZRIA O.,DJOUADI M., Surf. Coat. Techn., 176 (2003), 88.
  • [10] DALLAEVA D., BILALOV B., GITIKCHIEV M.,KARDASHOVA G., SAFARALIEV G., TOM´ANEK P.,S KARVADA P., SMITH S., Thin Solid Films, 526 (2012),92.
  • [11] POSADOWSKI W., WIATROWSKI A., DORA J., RADZIMSKI Z., Thin Solid Films, 516 (2008), 4478.
  • [12] OSTERLE W., DORFEL I., URBAN I., REIER T., SCHULTZE J. W., Surf. Coat. Techn., 102 (1998), 168.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-b8f9a631-c9aa-496a-9651-5e5c0905c2c2
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.