Modelowanie zjawiska rozpraszania światła w skaterometrii nierówności powierzchni

• Autorzy: Łukianowicz C.

Warianty tytułu

EN

Modelling of Light Scattering Phenomenon in Scatterometry of Rough Surfaces

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W referacie przedstawiono wyniki modelowania zjawiska rozpraszania światła przez powierzchnie nierówne. Pokazano jak zmienia się zespolona amplituda światła na powierzchni nierównej w zależności od parametrów nierówności okresowych i losowych. Na podstawie uzyskanych wyników przeanalizowano wpływ wysokości oraz kształtu nierówności na rozkład natężenia światła rozproszonego. Przeprowadzone badania modelowe pozwoliły określić zakres wysokości nierówności, które mogą być zmierzone za pomocą metod opartych na ocenie rozkładu natężenia światła rozproszonego. Otrzymane wyniki badań wskazują też, że dla wysokosci nierówności znacznie mniejszych od długości fali światła możliwe jest wyznaczenie funkcji gęstości widmowej mocy nierówności powierzchni, bezpośrednio z rozkładu natężenia światła rozproszonego.

EN

In the paper numerical results of modelling of light scattering from rough surfaces are presented. Dependency of the complex amplitude of the light wave scattered by rough surface on the surface roughness parameters of periodical and random surfaces is showed. Influence of the surface roughness height and shape on distribution of scattered light is analysed. The model investigations allow determining the roughness height range that we can to measure by differential light scattering methods. Obtained results shown that power spectral density of rough surface is similar to distribution of scattered light if the surface roughness height is less than the wavelength of light.

Słowa kluczowe

PL

modelowanie; rozpraszanie światła; powierzchnie chropowate

EN

modelling; light scattering; rough surfaces

• Wydawca: Wydawnictwo PAK
• Czasopismo: Pomiary Automatyka Kontrola
• Rocznik: 2007
• Tom: R. 53, nr 9 bis
• Strony: 519--522
• Opis fizyczny: Bibliogr. 11 poz., rys., wzory

Twórcy

autor

Łukianowicz C.

• Politechnika Koszalińska, Wydział Mechaniczny

Bibliografia

• [1] Chabros W., Staroński L.: Skaterometna nierówności powierzchniowych. Biuletyn Informacyjny – Optyka, nr 1-2, Instytut Optyki Stosowanej, Warszawa 1993, s. 9-24.
• [2] Łukianowicz Cz.: Analiza dyfrakcji śniada laserowego w skaterometrii nierówności powierzchni. III Konferencja Naukowo-Techniczna ,,Mechatronika'97", Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej, Konferencje z. 14, t. II, Warszawa, listopad 1997, s. 825-827.
• [3] Valliant J. G., Foley M. P., Bennett J. M.: Instrument for on-line monitoring of surface roughness of machined surfaces. Optical Engineering. Vol. 39, No. 12, 2000, pp. 3247-3254.
• [4] Łukianowicz Cz., Karpiński T.: Optical system for measurement of surface form and roughness. Measurement Science Review, Vol. 1, No. 1, 2001, pp. 151-154.
• [5] Bass F. G-, Fuks I. M.: Rassejanije voln na stafisticeski nerovnoj poverchnosti. Nauka, Moskwa 1972.
• [6] Ogilvy J. A.: Theory of Wave Scattering from Random Rough Surfaces. Adam Hilger. Bristol, Philadelphia and New York 1991.
• [7] Bennett J. M., Mattsson L.: Introduction to Surface Roughness and Scattering. Optical Society of America, Washington D. C. 1989.
• [8] Stover J. C: Optical Scattering: Measurement and Analysis. McGraw-Hill, Inc., New York 1990.
• [9] Łukianowicz Cz.: Podstawy pomiarów nierówności powierzchni metodami rozpraszania światła. Wvdawnictwo Uczelniane Politechniki Koszalińskiej., Koszalin 2001.
• [10] Goodman J. W.: Introduction to Fourier Optics. McGraw-Hill Book Co., New York-London 1968.
• [11] Cathev W. T.: Optyczne przetwarzanie informacji. PWN. Warszawa 1978.