Identyfikacja oddziaływań warstwy przewodzącej na parametry mierzalne głowicy pomiarowej w badaniach wiroprądowych

• Autorzy: Stec W.

Warianty tytułu

EN

Identifications of interaction of conductive coating on measurable parameters of measurement head in eddy current research

• Konferencja: Metody i technika przetwarzania sygnałów w pomiarach fizycznych / Międzynarodowe Seminarium Metrologów (X ; 22-24.10.2002 ; Rzeszów, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule zaprezentowano wyniki prac nad wykorzystaniem prądów wirowych do kontroli konduktywności warstw przewodzących uzyskiwanych w procesie rozpylania magnetotronowego.

EN

The paper presents the results of application of eddy current for conductivity control of conductive coatings received during magnetron sputtering.

Słowa kluczowe

PL

głowica pomiarowa; warstwa przewodząca; konduktywność; rozpylanie magnetronowe; prąd wirowy

EN

measuring head; conductivity film; conductivity; magnetron sputtering; eddy current

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Rzeszowskiej
• Czasopismo: Zeszyty Naukowe Politechniki Rzeszowskiej. Elektrotechnika
• Rocznik: 2002
• Tom: z. 24 [200]
• Strony: 143--148
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Stec W.

• Politechnika Rzeszowska, Zakład Metrologii i Systemów Pomiarowych

• Politechnika Rzeszowska, Zakład Metrologii i Systemów Pomiarowych,

Bibliografia

• [1] Borek R., Stec W.: Zastosowanie prctd6w wirowych do badania cienkich warstw przewodzących naniesionych na podłoże szklane
• [2] Jellonek A., Karkowski Z.: Miernictwo radiotechniczne. WNT. Warszawa 1972.
• [3] Kroning M. Haissler F. Arnold W.: Surface analisis by nondestructive testing techniques. Springer-Verlag 1997.
• [4] Stec W.: Badanie cienkich warstw przewodzących metod prądów wirowych. Zeszyty Naukowe Politechniki Rzeszowskiej. Elektrotechnika z. 22. Rzeszów 2002.
• [5] Pedersen L.B., Magnusson K., Zhengsheng Y.: Eddy Current Testing of Thin Layers Using Co-planar Coils. Springer-Verlag 2000.
• [6] Tian G.Y., Zhao Z.X., Baines R. W.: The research of inhomogeneity in eddy current sensors.