Nanomesstechnik – Nanomessmaschinen

• Autorzy: Jager G. , Manske E. , Hausotte T. , Buchner H.-J.
• Konferencja: Metody i technika przetwarzania sygnałów w pomiarach fizycznych / Międzynarodowe Seminarium Metrologów (IX ; 23-25.10.2001 ; Rzeszów, Polska)
• Języki publikacji: DE

Słowa kluczowe

PL

nanotechnologia; mikroelektronika; mikrotechnika

EN

nanotechnology; microelectronics; microtechnics

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Rzeszowskiej
• Czasopismo: Zeszyty Naukowe Politechniki Rzeszowskiej. Elektrotechnika
• Rocznik: 2002
• Tom: z. 22 [192]
• Strony: 103--109
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., rys.

Twórcy

autor

Jager G.

• TU Ilmenau

autor

Manske E.

• TU Ilmenau

autor

Hausotte T.

• TU Ilmenau

autor

Buchner H.-J.

• TU Ilmenau

• TU Ilmenau

Bibliografia

• 1. Zankoviych. S. ; Hoffmann, T.; Seekamp, J. ; Bruch, I.U.; Sotomayor Torres, C.M.: Nanoimprint lithography: challenges and prospects. Nanotechnology 12 (2001). S. 91 - 95.
• 2. Büchner, H.-J. ; Jäger, G.; Manske, E.: Laser-interferometrically assisted 3D-nanometrology on the atomic force microscope type VERITEKT. euspen 1st international conference. May 1999.
• 3. Jäger, G.: Lasernanomesstechnik - Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen in der modernen Gerätetechnik. In: 44. lnternationales Wissenschaftliches Kolloquium. TU llmenau. September 1999. S. 43 - 54.
• 4. Bienias, M.; Gao, S. ; Hasche, K.; Seemann, R.; Thiele, K.: 3D calibration of a Scanning Force Microscope with Internal Laser Interferometers. Surface and Interface Analysis. Vol. 25. 1997. S. 606 - 616.
• 5. Herrmann, K.; Hasche, K.; Pohlenz, F. ; Seemann, R.: On Some Metrological Applications of Scanning Force Microscopy. Workshop "Scanning Force Microscopy in Nanometrology and Nanofabrication". Breslau (Polen). Juli 2001.
• 6. Jäger, G.; Manske, E.: Hausotte, T.; Büchner. H.-J.: Nanomessmaschine zur abbefehlerfreien Koordinatenmessung. tm 7-8. 2000. S. 319 - 323.
• 7. Jäger, G.; Manske. E.; Hausotte, T.: Nano Measuring Machine. Invited Paper. MICRO.tec 2000. VDE World Microtechnologies Congress. Hannover. September 2000