A new method for determining changes in hardness of implanted materials

• Autorzy: Żukowski P. , Karwat C. , Łozak M. , Liśkiewicz J.

Warianty tytułu

PL

Nowy sposób określania zmian twardości warstw implantowanych

• Konferencja: Ion Implantation and Other Applications of Ions and Electrons-ION'98 / International Symposium (II ; 16-19.06.1998 ; Kazimierz Dolny, Poland)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

A new method for comparing microhardness of implanted metal layers has been proposed. It is performed with the application of a Vickers device used to determine forces to be applied to a microindenter to obtain the same penetration depth in the samples subjected to implantation with various doses. Applicability of the method has been demonstrated by testing it on nonimplanted copper samples - and those implanted with the molecular nitrogen ions of 200 keV energy and with the doses of 3.5x10¹⁷ cm^-2and 7x10¹⁷ cm^-2.

PL

Zaproponowano nowy sposób porównywania mikrotwardości warstw implantowanych metali. Polega on na określaniu sił w aparacie Vickersa, przy działaniu których na wgłębnik uzyskujemy odciski o jednakowej głębokości dla próbek materiału poddanych implantacji różnymi dawkami. Przydatność tego sposobu pokazano na przykładzie badań miedzi nieimplantowanej oraz implantowanej jonami azotu cząsteczkowego o energii 200 keV, dawkami 3.5x10¹⁷cm^-2 i 7x10¹⁷cm^-2.

Słowa kluczowe

EN

ion implantation; implanted materials; Vickers device

PL

implantacja jonów; warstwy implantowane; aparat Vickersa

• Wydawca: Institute of Nuclear Chemistry and Technology
• Czasopismo: Nukleonika
• Rocznik: 1999
• Tom: Vol. 44, nr 2
• Strony: 289--292
• Opis fizyczny: Bibliogr. 2 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Żukowski P.

autor

Karwat C.

autor

Łozak M.

autor

Liśkiewicz J.

• Lublin Technical University, Faculty of Electrical Engineering, 38A Nadbystrzycka Str., 20-618 Lublin, Poland