Deep ion implantation: advantages and current problems

• Autorzy: Słowiński B.

Warianty tytułu

PL

Głęboka implantacja jonów: zalety i problematyka bieżąca

• Konferencja: Ion Implantation and Other Applications of Ions and Electrons-ION'98 / International Symposium (II ; 16-19.06.1998 ; Kazimierz Dolny, Poland)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

The advantages of swift heavy ions (∼1 MeV/u) application for analysis and treating of solids in order to modify their properties are briefly summarised. As an illustration some examples of this application are also quoted.

PL

Przedstawiono krótko zalety zastosowania szybkich ciężkich jonów (∼1 MeV/u) do analizy i obróbki materiałów w celu modyfikacji ich własności. Przytoczono również kilka przykładów ilustrujących to zastosowanie.

Słowa kluczowe

EN

ion implantation; swift ions

PL

implantacja jonów; jony prędkie

• Wydawca: Institute of Nuclear Chemistry and Technology
• Czasopismo: Nukleonika
• Rocznik: 1999
• Tom: Vol. 44, nr 2
• Strony: 271--276
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., wykr.

Twórcy

autor

Słowiński B.

• Institute of Physics, Warsaw University of Technology, 75 Koszykowa Str., 00-662 Warsaw, Poland Institute of Atomic Energy, 05-400 Swierk/Otwock, Poland,