Wurtzite InP phase formation during swift Xe ion irradiation

Gaiduk, P.I.; Komarov, F.F.; Herre, O.; Wendler, E.; Wesch, W.

Artykuł - szczegóły

Tytuł artykułu

Wurtzite InP phase formation during swift Xe ion irradiation

Autorzy

Gaiduk P.I. , Komarov F.F. , Herre O. , Wendler E. , Wesch W.

Wybrane pełne teksty z tego czasopisma

Identyfikatory

Warianty tytułu

Powstawanie fazy o strukturze wurcytu w InP podczas implantacji wysokoenergetycznych jonów Xe

Konferencja

Ion Implantation and Other Applications of Ions and Electrons-ION'98 / International Symposium (II ; 16-19.06.1998 ; Kazimierz Dolny, Poland)

Języki publikacji

Abstrakty

Ion beam-induced amorphization and crystallization in InP implanted at room temperature with swift (250 and 340 MeV) Xe⁺ ions to doses of 5x10¹³ and 1x10¹⁴cm^-2, respectively, are investigated by the transmission electron microscopy. For the ion fluences above 5x10¹³cm^-2 the formation of amorphous InP of two different atomic structures is registered after swift Xe ion implantation as a consequence of electron and nuclear energy deposition. In the case of the highest ion dose implanted (1x10¹⁴cm^-2) a partial crystallization of the amorphous surface layer to polycrystalline InP is observed. The crystallization process passes a stage of wurtzite InP phase formation which is found to be metastable.

Za pomocą transmisyjnego mikroskopu elektronowego badano efekty amorfizacji i rekrystalizacji wywołane przez implantację InP (w pokojowej temperaturze) prędkimi jonami Xe (250 i 340 keV) z dozami, odpowiednio do 5x10¹³ i 1x10¹⁴cm^-2. Dla dawek jonów powyżej 5x10¹³cm^-2 zaobserwowano formowanie się dwóch różnych atomowych struktur amorficznego InP powstających na skutek deponowania energii w procesie elektronowego i jądrowego spowalniania. W przypadku implantacji z dozą 10¹⁴cm^-2 obserwowano częściową rekrystalizację powierzchniowej warstwy amorficznej InP do postaci polikrystalicznej. Zauważono, że proces rekrystalizacji InP przechodzi poprzez utworzenie metastabilnej fazy o strukturze wurcytu.

Słowa kluczowe

wurtzite ion implantation swift ions

wurtzyt implantacja jonów jony prędkie

Wydawca

Institute of Nuclear Chemistry and Technology

Czasopismo

Nukleonika

Rocznik

1999

Tom

Vol. 44, nr 2

Strony

189--194

Opis fizyczny

Bibliogr. 6 poz., tab., wykr.

Twórcy

autor

Gaiduk P.I.

autor

Komarov F.F.

autor

Herre O.

autor

Wendler E.

autor

Wesch W.

Belorussian State University, Kurchatova 7, 220064 Minsk, Belorussia

Bibliografia

Typ dokumentu

Bibliografia

Identyfikator YADDA

bwmeta1.element.baztech-article-PWA9-0001-0021