Electron optical properties of retarding lenses for the low voltage SEM

• Autorzy: Drzazga W. , Słówko W.

Warianty tytułu

PL

Własności elektronowo-optyczne soczewek hamujących dla niskonapięciowej spektroskopii elektronowej

• Konferencja: Ion Implantation and Other Applications of Ions and Electrons-ION'98 / International Symposium (II ; 16-19.06.1998 ; Kazimierz Dolny, Poland)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

There are possibilities for adaptation of the standard SEMs to obtain low energy electron micrographs. The authors propose to apply a multi-detector system where retarding electron lenses can be arranged in two sectors: above the system and below it. The parameters (including spherical and chromatic abberrations) for a row of configurations of the lenses were computed, and some of them were also examined experimentally.

PL

Istnieją możliwości uzyskania niskonapięciowych obrazów mikroskopowych w drodze odpowiedniej adaptacji standardowego skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM). Autorzy proponują zastosowanie w tym celu systemu wielodetektorowego z soczewkami hamującymi, które mogą być zaaranżowane zarówno powyżej tego systemu, jak i pod nim. Przedyskutowano wybrane parametry elektronooptyczne (łącznie z aberracją sferyczną i chromatyczną) dla szeregu soczewek o różnych konfiguracjach pod kątem przydatności do wspomnianego celu.

Słowa kluczowe

EN

scanning electron microscopy; SEM; multi-detector system; retarding lenses

PL

mikroskopia skaningowa elektronowa; SEM; system wielodetektorowy; soczewki hamujące

• Wydawca: Institute of Nuclear Chemistry and Technology
• Czasopismo: Nukleonika
• Rocznik: 1999
• Tom: Vol. 44, nr 2
• Strony: 161--166
• Opis fizyczny: Bibliogr. 3 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Drzazga W.

autor

Słówko W.

• Institute of Microsystem Technology, Wroclaw University of Technology, 11/17 Janiszewskiego Str., 50-372 Wroclaw, Poland