Three-dimensional surface imaging by the directional signal detection

• Autorzy: Słówko W.

Warianty tytułu

PL

Trójwymiarowe obrazowanie powierzchni drogą kierunkowej detekcji sygnału

• Konferencja: Ion Implantation and Other Applications of Ions and Electrons-ION'98 / International Symposium (II ; 16-19.06.1998 ; Kazimierz Dolny, Poland)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

A method for three dimensional reconstruction of the surface topography based on the "shape from signal distribution" rule is presented. It consists in directional detection of the secondary electron signal and its processing according to the formulas described. The topography can be displayed in a form of the surface profiles or fully three dimensionally in an axonometric view.

PL

W pracy została zaprezentowana metoda rekonstrukcji topografii powierzchni w skaningowym mikroskopie elektronowym bazująca na zasadach: "odtwarzanie kształtu z rozkładu sygnału". Metoda polega na kierunkowej detekcji sygnałów elektronów wtórnych i jego przetwarzaniu zgodnie z podanymi formułami. Topografia powierzchni może być przedstawiona w formie profili powierzchni lub w pełni trójwymiarowego widoku aksonometrycznego.

Słowa kluczowe

EN

scanning electron microscopy; SEM; signal detection; secondary electron

PL

mikroskopia skaningowa elektronowa; SEM; detekcja sygnałów; elektrony wtórne

• Wydawca: Institute of Nuclear Chemistry and Technology
• Czasopismo: Nukleonika
• Rocznik: 1999
• Tom: Vol. 44, nr 2
• Strony: 155--160
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., rys.

Twórcy

autor

Słówko W.

• Institute of Microsystem Technology, Wroclaw University of Technology, 11/17 Janiszewskiego Str., 50-372 Wroclaw, Poland