Cold hollow cathode ion source

• Autorzy: Kiszczak K.

Warianty tytułu

PL

Jarzeniowe źródło jonów z wnękową katodą

• Konferencja: Ion Implantation and Other Applications of Ions and Electrons-ION'98 / International Symposium (II ; 16-19.06.1998 ; Kazimierz Dolny, Poland)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

This paper presents a description of the construction and the basic exploitation characteristics of a glow ion source with a hollow cathode [1,2], adapted for colaboration with a laboratory implantator of ions. The aparatus generates ion beams of gas elements at up to 3 mA of a high purity, which allows for ion implantation without a magnetic analyser. Good stability and reliability of the operation and a simple construction of both the instrument itself and the supply systems make possible its installation in various technological conditions utilizing ion beams.

PL

W pracy opisana jest budowa oraz podstawowe charakterystyki eksploatacyjne jarzeniowego źródła jonów z wnękową katodą, dostosowanego do współpracy z laboratoryjnym implantatorem jonów. Przyrząd generuje wiązki jonowe pierwiastków gazowych o natężeniu rzędu miliamperów o wysokiej czystości, co pozwala na prowadzenie implantacji bez analizatora magnetycznego. Wysoka, długoczasowa stabilność i niezawodność działania przy jednoczesnej prostocie konstrukcji samego urządzenia, jak i układów zasilających, daje możliwość instalowania go w różnorodnych stanowiskach technologicznych, wykorzystujących wiązki jonowe.

Słowa kluczowe

EN

glow ion source; hollow cathode; ion implantation; ion beams

PL

jarzeniowe źródła jonów; katoda wnękowa; implantacja jonów; wiązki jonowe

• Wydawca: Institute of Nuclear Chemistry and Technology
• Czasopismo: Nukleonika
• Rocznik: 1999
• Tom: Vol. 44, nr 2
• Strony: 137--142
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Kiszczak K.

• Institute of Physics, Maria Curie-Sklodowska University, Pl. M. Curie-Sklodowskiej 1, 20-031 Lublin, Poland