Negative ion source for SIMS application

• Autorzy: Hereć J. , Filiks J. , Sowa M. , Sielanko J. , Mączka D.

Warianty tytułu

PL

Zastosowanie źródła jonów ujemnych w spektrometrze SIMS

• Konferencja: Ion Implantation and Other Applications of Ions and Electrons-ION'98 / International Symposium (II ; 16-19.06.1998 ; Kazimierz Dolny, Poland)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

The paper presents a modification of the thermal emission Cs⁺ ion source used for SIMS spectroscopy purposes. The source was modified in such a way that both the positive ion beam (in thermal emission mode), and the negative one (in sputter mode) may be emitted by the source. The mass spectra of both beams are shown and analysed. Also comparison of the secondary ion mass spectra obtained for negative and positive primary ion beams is presented.

PL

Praca prezentuje modyfikację termoemisyjnego źródła jonów wykorzystywanego w spektrometrze SIMS. Konstrukcja termoemisyjnego źródła jonów dodatnich została zmieniona, tak by mogło ono pracować jako źródło jonów ujemnych, przy wykorzystaniu zjawiska rozpylania. Zaprezentowane i omówione zostały widma mas dla wiązki jonów dodatnich i ujemnych. Porównano także widma mas jonów wtórnych dla tarcz bombardowanych wiązką jonów dodatnich i ujemnych.

Słowa kluczowe

EN

negative ions; negative ions source; SIMS apparatus

PL

jony ujemne; źródła jonów ujemnych; spektrometr SIMS

• Wydawca: Institute of Nuclear Chemistry and Technology
• Czasopismo: Nukleonika
• Rocznik: 1999
• Tom: Vol. 44, nr 2
• Strony: 119--128
• Opis fizyczny: Bibliogr. 13 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Hereć J.

autor

Filiks J.

autor

Sowa M.

autor

Sielanko J.

autor

Mączka D.

• Institute of Physics, Maria Curie-Sklodowska University, Pl. M. Curie-Sklodowskiej 1, 20-031 Lublin, Poland